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設定P0.03＝8、Pd.21＝編碼器的脈衝數（根據編碼器來確定數值）、按下M鍵不放，如果能夠正常運行，則閉環矢量調試成功，如果在運行時出現抖動，或是報過流的故障，則通過Pd.22修改編碼器的方向，再按下M鍵點動運行如果正常則閉環矢量設定成功；如果還是運行不起來，請檢查編碼器的安裝是不是有問題，例如是否有松動的情況發生，連軸是否對準。在確保安裝無問題時，請檢查編碼器的接線是不是正確，在以上兩個都確認以後，請再一步確認編碼器與PG卡型號一致（PG01開路集電極型；PG02差分型）。
4、轉矩控制的調試
（1）設置Pd.00=1，說明進行轉矩控制；
（2）如果AI1為速度給定，AI2為轉矩給定，那麼設置P6.21=0016；如果AI2為速度給定，AI1為轉矩給定，那麼設置P6.21=0061；此外，還要注意AI1和AI2輸入的信號而選擇跳線的位置，如果輸入的模擬量是電壓，請將控制板跳線調到電壓一側，如果輸入的模擬量是電流，請將控制板跳線調到電流一側；
（3）如果設置了外部端子開機，如果開機信號線接在X1和COM之間，請設置P5.00=2，P0.06=1；
AMAT Applied Materials Dual Helium Gas Line #1 HP-CVD Ultima 0050-18943
APPLIED MATERIALS 0190-07906
Applied Materials 0190-07450
13926 APPLIED MATERIALS DC PWR SPLY 800W ETCH 300MM, XP PN: 100948-03 0190-16537
APPLIED MATERIALS 0021-07952-004
Applied Materials (AMAT) 0100-00189
Applied Materials AMAT 0190-49999
APPLIED MATERIALS 0200-04017 / 020004017
0190-15029 / HARNESS, MOTOR KAWASAKI A3 ROBOT 300 / APPLIED MATERIALS
Applied Materials/AMAT ASSY Part Number 0140-13583 Rev. 003
Pentagon Technologies 0020-26403
Applied Materials (AMAT) 1410-00976
Applied Materials AMAT WXZ Valve Assembly, 0190-12357
11460 APPLIED MATERIALS CLAMP RING, 8" SNNF, SST, E/E 2.54MM 104 0020-29431
Applied Materials (AMAT) 0010-09495 P5000
AMAT Applied Materials 0090-02233 HDPCVD Interlock PCB Card 0190-00285
0190-22543 / FACTORY INTERFACE DIGITAL I/O REV-003 / APPLIED MATERIALS
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Applied Materials (AMAT) 0010-77732
APPLIED MATERIALS AMAT 0010-01245
Applied materials 0010-54184 SGP Yaskawa SGMCS-14C3C-YA12
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AMAT Applied Materials RF Match 0010-29210
Applied Materials AMAT Kalrez O-Ring, 3700-05152
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AMAT Applied Materials 0021-85650
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7379 APPLIED MATERIALS PLATE PUMPING 8''FC, WXZ 0020-42082 REV 002
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Panasonic MQMZ022A2D
13927 APPLIED MATERIALS CCM HART 3 MAINFRAME 0010-29958
Applied Materials (AMAT) 0200-36376
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豫公安備 41010502000017號