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HT¢º-045 C¯Å¡AHT¢º-018 C¯Å¡AHT¢º-013 C¯Å

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HFII-C-002¡AHFII-T-002¡AHFII-A-002¡AHFII-AA-002¡AHFII-H-002

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HFII-C-007¡AHFII-T-007¡AHFII-A-007¡AHFII-AA-007¡AHFII-H-007

HFII-C-010¡AHFII-T-010¡AHFII-A-010¡AHFII-AA-010¡AHFII-H-010

HFII-C-013¡AHFII-T-013¡AHFII-A-013¡AHFII-AA-013¡AHFII-H-013

HFII-C-018¡AHFII-T-018¡AHFII-A-018¡AHFII-AA-018¡AHFII-H-018

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HFII-C-045¡AHFII-T-045¡AHFII-A-045¡AHFII-AA-045¡AHFII-H-045

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HFII-C-250¡AHFII-T-250¡AHFII-A-250¡AHFII-AA-250¡AHFII-H-250

HFII-C-300¡AHFII-T300-¡AHFII-A-300¡AHFII-AA-300¡AHFII-H-300

§Þ³N«ü¼Ð 
1¡B¥X¤f®ðÅé§tªo¶q <1ppm w / w 
2¡BÃB©w¤u§@À£¤O 0.8mpa 
3¡B¶i®ð·Å«×  60¢J 
4¡B¹LÂoºë«× 1 m 
5¡B¹LÂo®Ä²v 99.999% 
6¡Bªì©lÀ£®t  0.02mpa 
7¡BÂoªä¹Ø©R 8000~12000h 

¤½¥q¦WºÙ¡GªC¦{¨Î¼ä¾÷¹q³]³Æ¦³­­¤½¥q ¦a§}¡G ªC¦{¥«¦¿·F°ÏÁ{¤B¸ô1191¸¹¡]¹Å¼w«Â¤u·~¶éB¼l¡^

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