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§Þ³N°Ñ¼Æ¡G
©Ê¯à°Ñ¼Æ | MF4003 | MF4008 | ³æ¦ì |
³q ®| | 3 | 8 | mm |
¤j¬y¶q | 2, 3, 4, 5 | 10, 20, 30, 40, 50 | SLPM |
¶qµ{¤ñ | 100:1 |
| |
ºë «× | ¡Ó(1.5+0.2FS) | % | |
«´_©Ê | 0.25 | % | |
¹sÂI¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó30 | mV | |
¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó0.12 | %/¢J | |
ÅTÀ³®É¶¡ | 10¡]Àq»{¡A20¡A50¡A100¡A200¡A500¡A1000¥i³]¸m¡^ |
| |
¤u§@¹q·½ | 8 ~ 18Vdc,50mA |
| |
¿é¥X¤è¦¡ | RS485¡ARS232¡A¼ÒÀÀ¹qÀ£0.5~4.5Vdc |
| |
Åã¥Ü¤è¦¡ | 4¦ì7¬qLED¼Æ½XºÞÅã¥Ü¡A2Ó«ü¥Ü¿O |
| |
«ü¥Ü³æ¦ì | Àþ®É¬y¶q¡GSLMP;²Öp¬y¶q¡GSL |
| |
Åã¥Ü¤À¿ë²v | 0.001,0.01,0.1¥i³]¸m | 0.01,0.1¥i³]¸m | SLPM |
¤j¬y¶qÀ£·l | 100 | 600 | Pa |
¤j¤u§@À£¤O | 0.5 | MPa | |
¤u§@·Å«× | -10 ~ +55 | ¢J | |
¦sÀx·Å«× | -20 ~ +65 | ¢J | |
¤u§@Àã«× | <95<>¡]µLµ²¦B¡BµL¾®ÅS¡^ | %RH | |
¾÷±ñ±µ¤f | BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm§Ö³t±µÀY |
| |
Áä½L | ¤TÓ«öÁä |
| |
¤Þ¥X½u | 5°w´¡¤f¡A°t0.5m¹qÆl |
| |
¼Ð·Ç®Õ·Ç®ðÅé | ªÅ®ð¡]©Î¨ä¥L®ðÅé¡^¡A20¢XC¡A101.325kPa |
| |
«¶q | 57¡]±aR1/4,¡^ | g |