| «~µP¡GÄ˹F/TDRG | ³W®æ¡GTDRG | ²£¦a¡G©y¿³ |
¤@¡B1600¢J¯uªÅºÞ¦¡Äl¥Î³~
¼sªxÀ³¥Î©ó°ª®Õ¡B¬ì¬ã°|©Ò¡B¤uÄq¥ø·~°µ°ª·Å¿Nµ²¡Bª÷ÄÝ°h¤õ¡B½è¶qÀË´ú¥H¤Î¯»¥½§Mª÷¦æ·~¥H¤Î¸q¾¦¥[¤u¦æ·~ªº¯M¯N¡B®ñ¤Æèp½L¹w¿Nµ²µ¥¡C®Ú¾Ú¥[¼ö°Ï¤j¤p¡A¶i¦æ¤p¸Õ¡A¤¤¸Õ¡A§å¶q¥Í²£¡C
¤G¡B1600¢J¯uªÅºÞ¦¡Älµ²ºc
1.ÄlÅé±Ä¥ÎÂù¼hÄl´ßµ²ºc¡AÂù¼hÄl´ß¤§¶¡¸Ë¦³·¾÷¡A¥i¥H§Ö³t¤É°·Å¡AÄl´ßªí±·Å«×§C¡C
2.ÄlºÞ±Ä¥Î99°ª¯Âè¥ÉºÞ¡B¨âºÝ¥Î¤£ù׿û304°ª¯uªÅªkÄõ±K«Ê¡C
3.Äl½£§÷®Æ±Ä¥Îªº¶i¤f®ñ¤Æ¾T¦h´¹ÅÖºû¯uªÅ§lªþ¨î¦¨¡A¸`¯à50%¡A¥[¼öÄl½£¥Ñ¤W¤U¨â³¡¤À²Õ¦¨¡A¨ä¤¤¤W³¡¤ÀÄl½£¥i¾ãÅé¦V«á½Âà110¢X¡A¤è«K¨ú©ñ¹êÅ窫®Æ¡B§ó´«ÄlºÞ¡C¥[¼ö¤¸¥ó±Ä¥Îֺ໴Υ[¼ö¡C
4.¹qÄl·Å«×±±¨î«Y²Î±Ä¥Î¤H¤u´¼¯à½Õ¸`§Þ³N¡A¨ã¦³PID½Õ¸`¡B¼Ò½k±±¨î¡B¦Û¾ã©w¯à¤O¨Ã¥i½s¨î¦UºØ¤É·Åµ{§Çµ¥¥\¯à¡A¸Ó±±¨î«Y²Î·Å«×Åã¥Üºë«×¬°1¢J¡A·Å³õéw«×¡Ó5¢J¡A¤É·Å³t²v1~20¢J¥i¥ô·N³]¸m¡C
¤T¡B1600¢J¯uªÅºÞ¦¡Äl°Ñ¼Æ
²£«~«¬¸¹ | ¤u§@¤Ø¤o | ¥[ ¼ö °Ï | ùÚ ·Å °Ï | ·¥·Å«× | ¤u§@·Å«× | ¥\²v¹qÀ£ |
TDRG1600-60 | £X60 * L 1000 | 300mm | 120mm | 1600¢J | 1500¢J | 4 KW 220 V |
TDRG1600-80 | £X80 * L 1000 | 300mm | 120mm | 1600¢J | 1500¢J | 4 KW 220 V |
TDRG1600-100 | £X100 * L1000 | 300mm | 120mm | 1600¢J | 1500¢J | 4 KW 220 V |
¥i¥R®ðª^ | ´á®ð¡A®ñ®ð¡B´ã®ð¡B²B®ðµ¥®ðÅé | |||||
¥¿tÀ£¤O | ¤u§@¯uªÅ«× -0.05MPa¡F¤u§@À£¤O 0.05MPa | |||||
¯u ªÅ «× | ¾÷±ñ¬¦10^-2 torr ¤À¤l¬¦10^-5 torr¡A ªn º| ²v¡G<5 mtorr / min | |||||
´ßÅéµ²ºc | Âù¼h¡A´ßÅ鶡·®°¨î§N¡A¥i¨ÏÄlÅéªí±§Ö³t°·Å¡C | |||||
¸`¯à®ÄªG | «O·Å®É¶È»Ý40%¥\²v | |||||
±±¨î¼Ò¦¡ | ´¼¯àPID½Õ¸`¡B¼Ò½k±±¨î¡B¦Û¾ã©w¥\¯à | |||||
·Å«×¦±½u | 30¬q¥i½sµ{±±¨î¡A¥i³]¸m30¬q¤É°·Åµ{§Ç | |||||
´ú·Å¤¸¥ó | B«¬¼ö¹q°¸ | |||||
±±·Åºë«× | ¡Ó1¢J | |||||
¥[¼ö¤¸¥ó | ֺ໴ΡA·Å³õ§¡¤Ã¡A¯à¯Ó§C¡C ¤É·Å³t²v0-30¢J/min¡]«Øij¤£°ª©ó20¢J/min¡^ | |||||
Äl½£«O·Å§÷®Æ | 1700«¬°ª¯Â®ñ¤Æ¾T·L´¹ÅéÅÖºû¡A«O·Å©Ê¯à¦n | |||||
°â«áªA°È | 12Ó¤ë½è«O¡]¬ÛÃö©ö¯Ó¥ó°£¥~¡^¡A²×¨«O× | |||||
¥]¸Ë¤è¦¡ | ¤T¦XªO¤ì½è¥]¸Ë½c | |||||
«D¼Ðq¨î | ¥»¤½¥q±µ¨ü¦UºØ«D¼Ð©w¨î¡A¨ãÅé«t¸ß·~°È¤Hû¡C | |||||
¨Ï¥Îª`·N¨Æ¶µ | ²£«~¨Ï¥Î¤@¬q®É¶¡«á¡AÄl½£·|¥X²{·L¤pªºµõ¯¾¡A³oÄݩ󥿱`²{¶H¡A¤£·|¼vÅT¨Ï¥Î¡A¥iÁp«Y§Ú¥q°â«á³¡ªù¯Á¨ú§K¶O®ñ¤Æ¾TÒ\¼h¶i¦æ׸ɡC | |||||
ª`¡G¥i®Ú¾Ú¥Î¤án¨D¥t¦æ³]p¨î³y¡A§ó¦h³W®æ¤Î°Ñ¼Æ©M¸Ô²Ó§Þ³N¤è®×½Ð¨Ó¹q«t¸ß¡I
¿Ý¤½¦w³Æ 41010502000017¸¹