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¶i¼Ë¸Ë¸m:
(1) ¿é¥X¤u§@½u°é¤º®|25mm¡A3¥`
(2) ¬²ºÞ¡G¤T¦P¤ßFassel«¬¡A¥~®|20mmªº¥Û­^¬²ºÞ
(3) ¦P¶b«¬¼QÃú¾¹¥~®|6mm
(4) Âùµ©§ÎÃú«Ç¥~®|35mm
(5) ´ã®ð¬y­p³W®æ©M¸ü®ðÀ£¤Oªí³W®æ¡G
  ¡B µ¥Â÷¤lÅé¬y¶q­p¡]100-1000¡^L/h ¡F(1.6-16L/min)
  ¡B »²§U®ð¬y¶q­p¡]10-100¡^L/h ¡F(0.16-1.66L/min)
  ¡B ¸ü®ð¬y¶q­p¡]10-100¡^L/h ¡F(0.16-1.66L/min)
  ¡B ¸ü®ðíÀ£»Ö¡]0-0.4MPa¡^
´ú¥ú¸Ë¸m:
(1) ¥ú¹q­¿¼WºÞ³W®æ¡G R212UH
(2) ¥ú¹q­¿¼WºÞ­t°ªÀ£¡G200-1000V ¡Aí©w©Ê<0.05%
(3) ¥ú¹q­¿¼WºÞ¹q¬y´ú¶q½d³ò¡G10-12 -10-4A
(4) «H¸¹±Ä¶°¬°V/F¥æ´«¡G1mV¹ïÀ³100Hz
¤À¥ú¾¹:
(1) ¥ú¸ô: Czerny- Turner
(2) µJ¶Z: 1000mm
(3) ¥ú¬]³W®æ¡GÂ÷¤l¨è»k¥þ®§¥ú¬]¡A¨è½u±K«×3600½u/mm¡A
     ¨è½u­±¿n: 80×110mm¡A½u¦â´²²v­Ë¼Æ¡G0.26nm
(4) ªiªø½d³ò¡G190-500nm 
(5) ¤À¿ë²v: ≤0.008nm
(6) ±½´yªiªø½d³ò3600½u/mm ±½´yªiªø½d³ò¡G190-500nm
(7) ¨B¶i¹q¾÷ÅX°Ê¤p¨B¶Z¡G0.0005nm
(8) ¤J®g¯UÁ_¡G20µm   ¥X®g¯UÁ_¡G25µm
(9) µo®gÃè³W®æ¡G¡]78 × 105 × 16¡^mm
(10) ³zÃè 30¡A1¡G1¦¨¹³
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