²£«~§Þ³N°Ñ¼Æ¡G
²£«~«¬¸¹ | MXG1600-60 | MXG1600-80 | ||
ÄlºÞ¤Ø¤o | 60*1000mm | 80*1000mm | ||
¤Ø¤o«¶q | 856*420*700 160kg | 856*420*700 170kg | ||
ÃB©w¹qÀ£ | AC220V 50/60Hz | AC220V 50/60Hz | ||
ÃB©w¥\²v | 4kw | 4kw | ||
ÄlÅéµ²ºc | Âù¼h´ßÅéµ²ºc¡A°t¦³·§N«Y²Î¡A¥i¨ÏÄlÅéªí±§Ö³t°·Å | |||
·Å±±«Y²Î |
| ·Å«×±±¨î«Y²Î±Ä¥Î¤H¤u´¼¯à½Õ¸`§Þ³N¡A¨ã¦³PID½Õ¸`¡B±±¨î¡B¦Û¾ã©w¥\¯à¡A¨Ã¥i½s¨î30¬q¤É°·Åµ{§Ç¡C
| ||
±±·Åºë«× | ±±·Åºë«×¡Ó1¢J | |||
Åã¥Ü¼Ò¦¡ | LED¼ÆÅã»öªí | |||
¤u§@·Å«× | °ª·Å«×1700¢J¡A³sÄò¤u§@·Å«× 1600¢J | |||
¤É·Å³t«× | ±ÀÂË 10¢J/min¡A§Ö¤É·Å³t«×30¢J/min | |||
¥[¼ö¤¸¥ó | 1700«¬Öºà»´ÎMoSi2 ¥ª¥k¨â±¥[¼ö¡A·Å³õ§¡¤Ã¡A¯à¯Ó§C
| | ||
Äl½£§÷½è | ¶i¤f1700«¬®ñ¤Æ¾T¦h´¹ÅéÅÖºû «O·Å©Ê¯à¦n |
| ||
ÄlºÞ§÷½è | °ª¯Âè¥ÉºÞ¡Aªø´Á1500«×¨Ï¥Î |
| ||
´ú·Å¤¸¥ó | B«¬¼ö¹q°¸¡A¥¿¤W¤è´ú·Å |
| ||
¬y¶q±±¨î | ¯B¤l¬y¶qp 25ML¡X250ML/min |
| ||
¤u§@¥¿À£ | 0.02mpa |
| ||
ùÚ·Å°Ï¹Ï |
| ¥[¼ö°Ïªø«×300mm¡AùÚ·Å°Ï150mm¡F¡]¥i¿ïÁÊ¥[ªøùÚ·Å°Ï¡^ | ||
¥i¿ï¯uªÅ | ¾÷±ñ¬¦10^-2 torr ¡] 20Pa¡^
|
| ||
¤À¤l¬¦10^-5 torr ¡] 0.005Pa¡^ |
| |||
¥i¥R®ðª^ | ´á®ð¡A®ñ®ð©M´ã®ð¤Î¨ä¥¦´k©Ê®ðÅé | |||
¾Þ§@ | ¶W·Å³øĵ¡Bº|¹q«OÅ@¥\¯à | |||
½è«O´Á1¦~¡A¬ÛÃö¯Ó§÷°£¥~¡A¦p¥[¼ö¤¸¥ó©ö¯Ó§÷µ¥¡A²×¨«O× | ||||
¿ïÁÊ°t¥ó | Äl¬[¡Apºâ¾÷±±¨î³n¥óµ¥¡C | |||
¼Ð·Ç°t¸m | ¨¾Å@¤â®M1Âù¡F©X³ú¹X1§â¡Fè¥É¦à1¥u¡Fè¥ÉºÞ1®Ú¡FÄl¶ë4Ó¡FÄl¤Ä1§â¡F6¸¹¤º¤»¨¤¡]ªkÄõ¡^¡FªkÄõ1®M¡F°ªÀ£®ðºÞ1®M¡F°ª·Å±K«Ê°é8Ó¡F²£«~»¡©ú®Ñ1¥÷¡F»öªí»¡©ú®Ñ1¥÷¡F«O×ÃÒ®Ñ1¥÷¡C | |||
ªA°È«O»Ù | ½è¶q¡G²£«~ªº¨î³y©MÀË´úÄY®æ«ö¬ÛÃö¼Ð·Ç°õ¦æ¡A¨Ã¦³½è¶q°O¿ý¥i¬d¡F¨C»O³]³Æ³£¦³ªº¨î³y½s¸¹¡A¨Ã«Ø¥ß¥Î¤áÀɮסC ¥æ³f´Á¡G«ö¦X¦P¬ù©w°õ¦æ¡F¦p«È¤á¦³¯S®íì¦]»Ý´£«e¥æ³fªº¡A§Ú¤½¥q¥i¯S§O²Õ´¥Í²£¡A¤Oª§º¡¨¬¥Î¤á»Ý¨D¡C | |||
¿Ý¤½¦w³Æ 41010502000017¸¹