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³]³Æ¯SÂI | 1¡B§Q¥Î½÷¥ú©ñ¹q²£¥Íµ¥Â÷¤lÅé¹q¤l¿E¬¡®ð¬Û¡F 2¡B´£°ª¤F®ð¬Û¤ÏÀ³ªº¨I¿n³t²v¡B¦¨½¤½è¶q¡F 3¡B¥i³q¹L½Õ¾ã®gÀW¹q·½ÀW²v¨Ó±±¨î¨I¿n³t²v¡F 4¡B¯à¼sªx¥Î©ó¡G¥Û¾¥²m¡BSiOx¡BSiNx¡BCNx¡BTiCxNyµ¥Á¡½¤ªº¥Íªø¡C | |||
¶}±Ò¦¡¯uªÅºÞ¦¡Äl | ¥Û^ºÞ | £X60/80/100mm L1400mm | ¥[¼ö°Ï¤Ø¤o | 440mm |
ùڷŰϤؤo | 200mm | |||
±±·Å¼Ò¦¡ | ±Ä¥Î¤H¤u´¼¯à½Õ¸`§Þ³N¡A¨ã¦³PID½Õ¸`¡B¦Û¾ã©w¥\¯à¡A¨Ã¥i½s¨î30¬q¤É°·Åµ{§Ç¡C | |||
¤É·Å³t²v | 20¢Jmin | |||
·¥·Å«× | 1200¢J | |||
ªø®É¶¡¤u§@·Å«× | 1150¢J | |||
ªí±·Å«× | < 60¢J¡]1000¢J«O·Å¡^ | |||
±±·Åºë«× | ¡Ó1¢J | |||
¥[¼ö¤¸¥ó | ¹qªýµ·¡]0Cr27Al7Mo2¡^ | |||
±K«Ê¤Î³s±µ¤è¦¡ | CF KF ¯uªÅªi¯¾ºÞ | |||
½è¶q²V®ð«Y²Î | ¬y¶q³W®æ | 50sccm@sccm?sccm?sccm@sccm(¥i¦Û¿ï¶qµ{) | ||
½Õ¸`»ÖÃþ«¬ | ¹qºÏ½Õ¸`»Ö | |||
±±¨îºë«× | ¡Ó0.2%F.S | |||
¤u§@À£®t½d³ò | ¡]50¡ã300¡^KPa | |||
²V®ðÅø¤Ø¤o | £X80¡Ñ120mm | |||
¹q¥\²v | AC220V/50HZ/20W | |||
¯uªÅ«Y²Î°Ñ¼Æ | §C¯uªÅ°t¸m | 4L/S ¾÷±ñ¬¦ ¹qªý¯uªÅp ¯uªÅªi¯¾ºÞ ¾×ªO»Ö ·¥¯uªÅ«×¡G 0.1Pa | ||
°ª¯uªÅ°t¸m | 4L/S ¾÷±ñ¬¦ 300L/S¤À¤l¬¦ ´_¦X¯uªÅp ¯uªÅªi¯¾ºÞ ¾×ªO»Ö ·¥¯uªÅ«×¡G 1.3¡Ñ10-4Pa | |||
®gÀW¹q·½«Y²Î | ¿é¥X¥\²v | 5-300W 5-500W (¥i¿ï) | ||
±±¨î¼Ò¦¡ | ¤â°Ê/PLC/PC | |||
¤u§@ÀW²v | 13.56MHZ¼Ð·Ç¥¿©¶ªi | |||
¨Ñ¹q¹qÀ£ | ³æ¬Û¥æ¬y¡]190V¡ã240V¡^ | |||
§N«o¤è¦¡ | ·§N | |||
³]³Æ¥~§Î¤Ø¤o | 1800mm¡]ªø¡^*600mm¡]¼e¡^*1390mm¡]°ª¡^ | |||
³]³Æ«¶q | 215KG | |||
ªA°È«O»Ù | ½è¶q¡G²£«~ªº¨î³y©MÀË´úÄY®æ«ö¬ÛÃö¼Ð·Ç°õ¦æ¡A¨Ã¦³½è¶q°O¿ý¥i¬d¡F¨C»O³]³Æ³£¦³ªº¨î³y½s¸¹¡A¨Ã«Ø¥ß¥Î¤áÀɮסC ¥æ³f´Á¡G«ö¦X¦P¬ù©w°õ¦æ¡F¦p«È¤á¦³¯S®íì¦]»Ý´£«e¥æ³fªº¡A§Ú¤½¥q¥i¯S§O²Õ´¥Í²£¡A¤Oª§º¡¨¬¥Î¤á»Ý¨D¡C | |||
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