江蘇自動拋光機配置伺服係統
拋光機伺服加載係統控制
在雙面拋光機中,氣動加載係統要求對加載在工件上的拋光壓力進行控制,從而保證拋光質量。為了達到這一要求,提出了氣動伺服加載係統並引入特殊設計的氣動數字伺服閥。同時對氣動伺服加載係統進行數學建和模塊化分析,後進行了實驗研究。表明氣動伺服加載係統能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。
雙面拋光機伺服加載係統
在雙面拋光機中,氣動加載係統要求對加載在工件上的拋光壓力進行控制,從而保證拋光質量。為了達到這一要求,提出了氣動伺服加載係統並引入特殊設計的氣動數字伺服閥。同時對氣動伺服加載係統進行數學建和模塊化分析,後進行了實驗研究。表明氣動伺服加載係統能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。
精密雙面拋光機的結構
一種精密雙面拋光機，包括機架、主軸傳動機構、上拋光盤傳動機構，主軸傳動機構連接下拋光盤、內齒圈、外齒圈以及與上拋光盤配合的連接件，內齒圈與外齒圈之間嚙合用於放置工件的行星輪，上拋光盤傳動機構位於主軸傳動機構的上方，上拋光盤傳動機構包括安裝在機架上的驅動裝置，驅動裝置帶有活塞桿，活塞桿與上拋光盤連接，採用四個變頻電機拖動上下拋盤、內齒圈、外齒圈的四動拋光原理來進行傳動係統的設計，且採用軸套結構使四軸同心；驅動裝置連接用於調節加載壓力大小的壓力調節閥，在活塞桿與上拋光盤的連接處安裝壓力傳感器，能夠控制上拋光盤的壓力。本發明結構緊湊、可實現無級調速、加工過程平穩性佳、可有效提升拋光效率
精密雙面拋光機的控制係統
一種精密雙面拋光機的控制係統，包括拋光機精密控制器、與驅動上拋光盤轉動的第一變頻電機連接的第一變頻 器、與驅動太陽輪轉動的第二變頻電機連接的第二變頻器、與驅動下拋光盤轉動的第三變頻電機連接的第三變頻器、與驅動外齒圈轉動的第四變頻器、安裝在各個變 頻電機的主軸上的轉速傳感器，以及調節驅動壓力大小的壓力調節閥和安裝在氣缸的活塞桿與上拋光盤之間的壓力傳感器。所述的拋光機精密控制器包括電機轉速調 節模塊、電機轉速控制模塊、上拋光盤壓力控制模塊。本發明可實現無級調速、調節上拋光盤的壓力、加工過程平穩性佳、可有效提升拋光效率。
江蘇自動拋光機配置伺服係統
豫公安備 41010502000017號