伺服鏈條拋光機 昆山鋁板拋光機
拋光機伺服加載係統控制
在鏈條雙面拋光機中,氣動加載係統要求對加載在工件上的拋光壓力進行控制,從而保證拋光質量。為了達到這一要求,提出了氣動伺服加載係統並引入特殊設計的氣動數字伺服閥。同時對氣動伺服加載係統進行數學建和模塊化分析,後進行了實驗研究。表明氣動伺服加載係統能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。
雙面拋光機伺服加載係統
在雙面拋光機中,氣動加載係統要求對加載在工件上的拋光壓力進行控制,從而保證拋光質量。為了達到這一要求,提出了氣動伺服加載係統並引入特殊設計的氣動數字伺服閥。同時對氣動伺服加載係統進行數學建和模塊化分析,後進行了實驗研究。表明氣動伺服加載係統能滿足雙面拋光的要求,可以加工出雙面超平滑的硅片。
伺服鏈條拋光機 昆山鋁板拋光機