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¡B µ¥Â÷¤lÅé¬y¶qp¡]100-1000¡^L/h ¡F(1.6-16L/min)
¡B »²§U®ð¬y¶qp¡]10-100¡^L/h ¡F(0.16-1.66L/min)
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¡B ¸ü®ðÃÀ£»Ö¡]0-0.4MPa¡^
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(1) ¥ú¹q¿¼WºÞ³W®æ¡G R212UH
(2) ¥ú¹q¿¼WºÞt°ªÀ£¡G200-1000V ¡Aéw©Ê<0.05%
(3) ¥ú¹q¿¼WºÞ¹q¬y´ú¶q½d³ò¡G10-12 -10-4A
(4) «H¸¹±Ä¶°¬°V/F¥æ´«¡G1mV¹ïÀ³100Hz
¤À¥ú¾¹:
(1) ¥ú¸ô: Czerny- Turner
(2) µJ¶Z: 1000mm
(3) ¥ú¬]³W®æ¡GÂ÷¤l¨è»k¥þ®§¥ú¬]¡A¨è½u±K«×2400½u/mm¡A
¨è½u±¿n: 110¡Ñ110mm¡A½u¦â´²²v˼ơG0.26nm
(4) ªiªø½d³ò¡G190-500nm
(5) ¤À¿ë²v: 0.01nm
(6) ±½´yªiªø½d³ò2400½u/mm ±½´yªiªø½d³ò¡G190-800nm
(7) ¨B¶i¹q¾÷ÅX°Ê¤p¨B¶Z¡G0.0005nm
(8) ¤J®g¯UÁ_¡G20?m ¥X®g¯UÁ_¡G25?m
(9) µo®gÃè³W®æ¡G¡]105 ¡Ñ 105 ¡Ñ 16¡^mm
(10) ³zÃè 30¡A1¡G1¦¨¹³
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