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¥Û­^ºÞ¤Ø¤o L1400mm  £X¡]60¡B80¡B100¡^ 

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¥[¼ö°Ïªø«× 410mm   

ùڷŰϪø«× 200mm 

¨Æ±¡·Å«× 1100¢J 

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±±·Åºë«× ¡Ó1¢J 

¤É·Å³t²v 20¢J/min 

¹q¥\²v AC220V/50HZ/3KW 

«~½è¨Ñ®ðÅé«Y§Þ¥©°Ñ¼Æ 

§Îª¬¤Ø¤o 600x600x600mm 

¤Ø«×¶qµ{ 50sccm¡]CH4¡^¡B200sccm¡]H2¡^¡B500sccm¡]Ar¡BN2¡^¡F

¼ÆÅãÀ£¤Oªí¤V¶q³W¼Ò -0.1Mpa¡ã0.15Mpa 

·¥­­À£¤O 3MPa 

°w»Ö 316¤£ù׿û 

ºI¤î»Ö £X6mm 316¤£ù׿û°w»Ö 

¹q¥\²v AC220V/50HZ/20W 

¦^À³¥ú³± ®ð¯S¼x¡G1¡ã4 Sec¡A¹q¯S¼x¡G10 Sec 

«× ¡Ó1.5% 

½u©Ê ¡Ó0.5¡ã1.5% 

¤Ï´_ºë«× ¡Ó0.2% 

¬É­± £X6,1/4'' 

¯uªÅÅé«Y§Þ¥©°Ñ¼Æ 

³y«¬¤Ø¤o 600¡Ñ600¡Ñ600mm 

¨Æ±¡¹q¹qÀ£ 220V¡Ó10%  50~60HZ 

¥\²v 400W 

©â®ð³t²v 4Ls 

·¥­­¯uªÅ 4X10-2Pa 

¸ÕÅç¯uªÅ«× 1.0X10-1Pa 

®eªo¶q 1.1L 

¶i®ð¤f¤f®| KF25 

¨Ñ¹q¹qÀ£ ³æ¬Û¥æ¬y¡]187V-253V¡^ ÀW²v50/60HZ

¾ã¾÷®Ä²v >=70%

¥\²v¦]¯À >=90%

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