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·ÆyºÞ¦¡Äl§Þ³N°Ñ¼Æ | |||||
| ¥Û^ºÞ¤Ø¤o | L1400mm £X¡]60¡B80¡B100¡^ | |||
¥[¼ö¤¸¥ó | ºUà»ÅK»Ì¾T¦Xª÷¹qªýµ· | ||||
´ú·Å¤¸¥ó | K«¬¼ö¹q°¸ | ||||
¥[¼ö°Ïªø«× | 410mm | ||||
ùڷŰϪø«× | 200mm | ||||
¤u§@·Å«× | 1100¢J | ||||
±±·Å¼Ò¦¡ | ¼Ò½kPID±±¨î©M¦Û¾ã©w½Õ¸`¡A´¼¯à¤Æ30¬q¥i½sµ{±±¨î¡A¨ã¦³¶W·Å©MÂ_°¸³øĵ¥\¯à | ||||
±±·Åºë«× | ¡Ó1¢J | ||||
¤É·Å³t²v | 20¢J/min | ||||
¹q¥\²v | AC220V/50HZ/3KW | ||||
½è¶q¨Ñ®ð«Y²Î§Þ³N°Ñ¼Æ | |||||
| ¥~§Î¤Ø¤o | 600x600x600mm | |||
¼Ð·Ç¶qµ{ | 50sccm¡]CH4¡^¡B200sccm¡]H2¡^¡B500sccm¡]Ar¡BN2¡^¡F | ||||
À£¤Oªí´ú¶q½d³ò | -0.1Mpa¡ã0.15Mpa | ||||
·¥À£¤O | 3MPa | ||||
°w»Ö | 316¤£ù׿û | ||||
ºI¤î»Ö | £X6mm 316¤£ù׿û°w»Ö | ||||
¹q¥\²v | AC220V/50HZ/20W | ||||
ÅTÀ³®É¶¡ | ®ð¯S©Ê¡G1¡ã4 Sec¡A¹q¯S©Ê¡G10 Sec | ||||
·Ç½T«× | ¡Ó1.5% | ||||
½u©Ê | ¡Ó0.5¡ã1.5% | ||||
«´_ºë«× | ¡Ó0.2% | ||||
±µ¤f | £X6,1/4'' | ||||
¯uªÅ«Y²Î§Þ³N°Ñ¼Æ | |||||
| ¥~«¬¤Ø¤o | 600¡Ñ600¡Ñ600mm | |||
¤u§@¹q¹qÀ£ | 220V¡Ó10% 50~60HZ | ||||
¥\²v | 400W | ||||
©â®ð³t²v | 4Ls | ||||
·¥¯uªÅ | 4X10-2Pa | ||||
¹êÅç¯uªÅ«× | 1.0X10-1Pa | ||||
®eªo¶q | 1.1L | ||||
¶i®ð¤f¤f®| | KF25 | ||||
±Æ®ð¤f¤f®| | KF25 | ||||
Âà³t | 1450rpm | ||||
®gÀW¹q·½ | |||||
| «H¸¹ÀW²v | 13.56 MHz¡Ó0.005% | |||
¥\²v¿é¥X½d³ò | 3W-300W 5W-500W¥i¿ï | ||||
¤j¤Ï®g¥\²v | 200W | ||||
®gÀW¿é¥X±µ¤f | 50 £[, N-type, female | ||||
¥\²véw«× | ¡Ó0.1% | ||||
¿Óªi¤À¶q | -50dbc | ||||
¨Ñ¹q¹qÀ£ | ³æ¬Û¥æ¬y¡]187V-253V¡^ ÀW²v50/60HZ | ||||
¾ã¾÷®Ä²v | >=70% | ||||
¥\²v¦]¯À | >=90% | ||||
§N«o¤è¦¡ | ±j¨î·§N | ||||
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