«~µP¡G | ³W®æ¡G5-200KG | §÷½è¡G¬ü¦Xª÷ |
²£¦a¡G«n¨Ê²£ |
¥Î³~¡G
¤â°Ê¶É±×¦¡Áâ¦Xª÷®ðª^«OÅ@º²·Ò©XÁçÄl,«Y¨Ò¨Ñ§Cº²ÂI¦³¦âª÷ÄݤΦXª÷¦p¾T¬ü¡B¾N¡BÂð¤Ú¤ó¦Xª÷µ¥º²¤Æ©Îº²·Ò¤§¥Î¡C
ª`·N¨ì¡G¾T¡BÁâ¦Xª÷·»¤Æ«e©TºAÄl®Æn¶i¦æ¹w¼ö¡B°£Àã¡C
¤@¡AÁâ¦Xª÷¥Î³~¡G
Áâ¦Xª÷º²¤ÆÄl¤â°Ê¶É±×¦¡Áâ¦Xª÷®ðª^«OÅ@º²·Ò©XÁçÄl,«Y¨Ò¨Ñ§Cº²ÂI¦³¦âª÷ÄݤΦXª÷¦p¾TÁâ¡B¾N¡BÂð¤Ú¤ó¦Xª÷µ¥º²¤Æ©Îº²·Ò¤§¥Î¡C
ª`·N¨ì¡G¾T¡BÁâ¦Xª÷·»¤Æ«e©TºAÄl®Æn¶i¦æ¹w¼ö¡B°£Àã¡C¥Í²£¶q¬°5¤½¤ç¡B8¤½¤ç¡B10¤½¤ç¡B15¤½¤ç¡B20¤½¤ç
¤G¡AÁâ¦Xª÷¯SÂI¡G
1¡B±Ä¥Î¼w°ê§Þ³N¡A¥i¾a¡C°t³Æ®ðÅ騾¿U«OÅ@©M®ðÅé¦Û°Ê¤Á´«¸Ë¸m¡A¶W·Å³øĵ¡Bº|²G³øĵ©M®ðÅ餣¨¬³øĵµ¥¤T«¦Û°Ê³øĵ¸Ë¸m¡A¯S¦³º¯º|¦Û°Ê׸ɥ\¯à¡A§¹¥þ¸Ñ¨M¤FÁâ¦Xª÷¼ö³B²zÀ£Å±ªº©Ê°ÝÃD¡C
2¡B¼ö®Ä²v°ª¡Aº²¸Ñ³t«×§Ö¡C
3¡BÁâ¿N·l²v§ó§C¡A¾T²G¦¨¥÷©M·Å«×§ó§¡¤Ã¡A´¹²É§ó²Ó¤Æ¡A®ñ¤Æª«§ó¤Ö¡C
4¡B¾ãÄl¨Ï¥Î¦Û°Ê±±·Å¡AµL¶·¯S§OºÞ²z¡AÄl»\¦Û°Ê¶}¦X¡A¨Ï¥Î¤ÎºûÅ@²³æ¡A©X³ú§ó´«¤Q¤À¤è«K¡C¼ô½m«á¥i¹³¾T¦Xª÷À£Å±¤@¼Ë¾Þ§@©M¥Í²£¡C
«O·Å
¤T¡C¥[¼ö¤¸¥ó
¬°¤F½T«Oº²Äl«OÅ@¨Ï¥Î¹Ø©Rªø¡A¥i¾a¡A·Ç½T±±·Å¡AºûÅ@¤è«K¡AÀ£Å±º²Äl´¶³q±Ä¥Î¹q¼ö¥[¼ö±±·Å¼Ò¦¡¡A¥[¼ö¤¸¥ó«öµ²ºc¥i¤À¬°¡¨¶°§ô¦¡¡¨©M¡¨Á³µ·ºÞ¦¡¡¨¨âÃþ¡C
¶°§ô¦¡¥[¼ö¤¸¥ó¨ã¦³©ö©ó§ó´«ªºÀuÂI¡A¦ý¨ä¶°¤¤¤À¥¬ªºµo¼öÅé¾ÉPÄl½£¥[¼ö¤À¥¬¤£¤Ó§¡¤Ã¡C¥t¥~¡A§@¬°©ö·l¥ó¡A¸ÓÃþ¥[¼ö¤¸¥óªº¨Ï¥Î¹Ø©Rªø¡A§ó·s¦¨¥»¸û§C¡C¦³§Q©ó¨¾¤î©XÁçÅܧΩM©µªøªA§Ð¹Ø©RªºÀu¶Õ¡C±q¨Ï¥Î¦¨¥»±±¨î¥Xµo¡A±Ä¥ÎÁ³±ÛºÞ¦¡¥[¼ö¤¸¥ó¡A¤è«K¤¸¥ó©T©w©M§ó´«¡A±Ä¥ÎÄlµ·ÀÁ¸m©M©T©wºc¥ó¡C
¥|¡B±±·Å¤è¦¡
Áâ¦Xª÷º²Äl·Å±±«Y²Î¡A±Ä¥ÎPDIÂù¦V±±·Å§Þ³N¡C§YÄl½£©MÁâ²GÂù¦V´ú·Å±±¨î¡C¦]¬°º²Åé©M¼ö·½³Q©X³úªý¹j,©XÁ示·Å«×ÅܤƤ£¦Pªº¯SÂI¡A§Ú̱ĥδ¼¯à·Å±±¦±½u¤É·Åªº¤è¦¡¡A¦³®Ä©è¨î¤F¼åª`º²Åé·Å«×ªi°Ê¡C¦P®É¡A¼ö³ùº²Äl³]¸m¤F¼Ð°tªº½Õ¥\¹q·½¡ASCR¹qªý¥i½Õ¡Cº²Äl¹ê»Ú¥\²v©Mº²¤Æ±j«×ªº¦X²z¤Ç°t©M¥R¤À§Q¥Î¡C
¤¡Bº|Áâ©Ê»P@¤õ§÷®Æ
Áâ»P@¤õ§÷®Æ¦b¤£¦P·Å«×¤Uªº¤ÏÀ³¼ö¯à¦±½u¤£¦P¡A¤ÏÀ³¥Í¦¨¼ö¼Æ¾Ú¡A¦bÄl½£¤u§@·Å«×¤U¡Aªnº|ªºÁâ¦Xª÷º²Å駡¥i»P±`¥ÎªºÄlŨ@¤õ§÷®Æµo¥Í¼ö¤Æ¾Ç¤ÏÀ³,¦ý¤ÏÀ³©ñ¼ö¯à¤O«h®t¶Z¥¨¤j¡C
¦pªG¸ÓÃþ¤ÏÀ³ÄÀ©ñªº¼ö¶q¹L°ª,±N¤j´T«×¤É°ªÁâ¦Xª÷º²´ö·Å«×,¤@¥¹Áâ¦Xª÷º²Åé·Å«×¤j´T«×¶W¹L¨äªmÂI(1100¢J)¡A«h·|¼@¯P²£¥Í¨T¤Æ¡A²×¾ÉPÄY«ªº¨Æ¬G¡C¦]¦¹¡A±Ä¥Î§C¤ÏÀ³©Ê@¤õÄlŨ¬O½T«OÁâ¦Xª÷º²Äl¹B¦æªº°ò¦¡AªºÁâ¦Xª÷º²ÄlÄlŨ§¡±Ä¥Î°ª®ñ¤Æ¾T(AL2O2 80%)@¤õ§÷®Æ¡C
®Ú¾Ú¥[¼ö¤¸¥ó©T©w¤è¦¡,@¤õÄlŨ¥i¤À¬°°ª¾TÅÖºû©M°ª¾T@¤õ¿j¨âÃþ,¼ö³ùº²Äl±Ä¥Î°ª¾TÅÖºûµ´¼ö¼h´_¦Xµ²ºc,§¡±Ä¥Î¥[®³¤j¶i¤fBNZªOÄlŨ@¤õ§÷®Æ¡B¼w°êPromat¯Ç¦Ìµ´ ¼ö§÷®Æ¡C¦P®É¹ê²{¥[¼ö¤¸¥ó©T©w©M°ªµ´¼ö¥\¯à¡C
¤»¡B©w¶q¼åª`«Y²Î¤Î©w¶q¬¦¸Ë¸m
©w¶q¼åª`«Y²Î³q±`¥Ñ¬¦©M¥[¼ö¼åºÞ¨â³¡¤À²Õ¦¨,¨ä¤u§@ì²z©M¨î³y½è¶qª½±µÃö«Y¨ìº²Älªº¤u§@éw©Ê¡BÁâ²G§Q¥Î²v¡B¥Í²£ºûÅ@©Ê©M¨Ï¥Î¦¨¥»µ¥½Ñ¦h°ÝÃD¡C¦]¦¹¡A©w¶q¼åª`«Y²Î¬O«O»ÙÀ£Å±Áâ¦Xª÷º²Äléw¤u§@ªºÃöÁ䳡¥ó¡C
¹ê²{Áâ¦Xª÷©w¶q¼åª`ªº¤èªk¥Dn¦³¥|ºØ¡G¸¤ù¦¡¡BÁ³±ì¦¡¡B¬¡¶ë¦¡¡BÂ÷¤ß¦¡¡C
¼ö³ùº²Äl±Ä¥ÎÂ÷¤ß©w¶q¬¦¡AºûÅ@²v´î¤Ö«Ü¦h¡A¦Ó¥B©ö©ó¹ê²{¸û°ªªº©w¶qºë«×¡C
Áâ¦Xª÷©w¶q¬¦¥Dn¯SÂI:
1.©w¶q¬¦±Ä¥ÎÂ÷¤ß¾÷±ñ¦¡©w¶q¬¦¡C
2.©w¶q¬¦ªº±±¨î«Y²Î¡A»PPLC³sÂê°t®M±±¨î¡A±±¨î°Ñ¼Æ¡C
3.±±¨î¼åª`®É¶¡¡B¼åª`¼Æ¶q¡C
4.«´_©Ê¯à¦n¡A©w¶qºë«×°ª¡C
5.@°ª·Å@»G»k¡A¤£ÅܧΡA¦bº²¿ÄÁâ¦Xª÷²G¤¤¤u§@éw¡C
6.©â¨ú¦¡®ÆºÞ¡A®e©ö²M²z ¡C
7.¥Ú¶q¦øªA°¨¹FÅX°Ê¡A¹qªý¤î°Ê¡C
¤C¡B¿é®ÆºÞ¸Ë¸m
¶Ç²Î¨Ï¥ÎªºÁâ²G¿é°eºÞ³£¬O±Ä¥Î¥þ«Ê³¬ªº¶ê§Î¿é²GºÞ¡AÀuÂI¬O±K«Ê¡A«O·Å©Ê¯à¦n¡A¦ý¬O®e©ö°ô®Æ°ô¼L¡CÁâ¦Xª÷¼å¥]¥[®Æ¥Ñ©ó¨ü¶¡·²¦¡¥[®Æ¡A¤ÎÀ£Å±§@·~±ø¥óªº¼vÅT¡A¤£¾A©y±Ä¥Î³oºØ¤è¦¡¡C
§Ú̯S·N±ÀÂ˦X¶¦¡¥i¶}³¬¿é®ÆºÞ¡A¥i¥Hªø´Á¦b450¡ã700¢J·Å±±°Ï¤u§@¡A¨Ã¥B¨ã¦³¥H¤U¯S©Ê¡G
1.¤À°Ï¬q¥[¼ö±±¨îÁâ²G·Å«×¡A¹ê®É±±¨îÁâ²G·Å«×ÅܤơC
2.¯S®íªº@¤õ§÷®Æ¤Î¿û¥ó¡A¦b°ª·Åª¬ºA¤U¡Aéw©Ê¯à¦n¡C@°ª·Å¡B@»G»k¡B¤£ÅܧΡC
3.¥þ«Ê³¬³]p¡A¥´¶}§Y¥i²M²z¶Ç¿éºÞ¡A¤è«K¹ê¥Î¡CÁÙ¯à§Ü®ñ¤Æ¡A¨Ï¥Î¹Ø©Rªø¡C
4.«OÃÒÁâ²G¯Â«×¡A¥H¤Î¶Ç¿é³t«×¡A·Ç½T¡C
¤K¡B®ðÅé«OÅ@
Áâ¬O¤@ºØ¤ñ¸û¬¡¼âªºª÷ÄÝ¡A²GºAÁâ¤@¥¹±µÄ²ªÅ®ð±NÅܱo¤Q¤À¬¡ÅD¡A®e©ö²£¥Í¿U ¿N®ñ¤Æ¡C©Ò¥H´ö¥]Äl½£¤ºªº·Å«×³]©w¨ì¹F350¢J¡A«Y²Î±N¦Û°Ê±µ³qFS6¡ÏN2²V¦X®ðÅé«OÅ@²G±¡A¥H¨¾¤îÁâ²G»PÄl¤ºªÅ®ð±µÄ²²£¥Íªí±®ñ¤Æ¿U¿N¡C
¦]¬°º²¿Ä²GºAªºÁâ¦Xª÷¼ÉÅS¦bªÅ®ð¤¤·|¿U¿N¡A©Ò¥HºÉ¥i¯à¦aÁקK¦Xª÷»PªÅ®ðªº±µÄ²¡C·íº²Äl·Å«×¹F¨ì350¢J®É¡A«OÅ@®ðÅé²V¦X¾¹·|¦Û°Ê«ö¤ñ¨Ò¨ÑÀ³«OÅ@®ðÅé¡]²V¦X®ð¤¤SF6¬ON2ªº0.5%¡^¡C«OÅ@®ðÅ鬰SF6¡]©ÎSOR2R¡^¡ÏN2,·í¹J¤W°±¹q®É¡A¥i¥HÄ~Äò´£¨Ñ«OÅ@®ðÅé¡C«OÅ@®ðÅé¦bÄl¤ºªº¤À¥¬¬°¡GªÅ®ð¡B´á®ðN2¡BSF6¡]SOR2R¡^Áâ²G¡C
1.¤»¬t¤Æ²¸Áâ»PSO2/SF6§@¥Î¡GSO2¡G3Mg+SO2 = 2MgO+MgS
»PSF6²V¦X®ðÅé¡G 2Mg+O2=2MgO
2Mg+O2+SF6=2MgF2+SO2F2
2MgO+SF6=2Mg F2+SO2F2
³q¹L¹êÅçªí©ú¡G¤Wz¨âºØ®ðÅé¥Í¦¨ªº®ñ¤Æ½¤P±K«×«Y¼Æ³£¦b1.0¥H¤W¡A¥B±K«×¤j©óªÅ®ð¡A¯à¦³®Äªº¹jµ´O2¡Aªý¤î¤ÏÀ³Ä~Äò¶i¦æ¡A±q¦Ó«Ü¦nªº«OÅ@¤FÁâ²G¡C
2.³]³Æ¦b³]p¹Lµ{¤¤¡A¦³®ðÅé«OÅ@¹q½c©M²V¦X®ðÅé¹qÂd¡C³q¹L¥»¸Ë¸m¥i¥H¹w¥ý½Õ¸`¦UºØ²V¦X®ðÅ骺¤ñ¨Ò¤Î¬y¶q¡C·í®ðÅ骺À£¤O¤U°¨ìÀ£¤O¶Ç·P¾¹ªº¤U®É¡A±±¨î«Y²Î³øĵ¸Ë¸mµo¥Xĵ³ø«H¸¹¡A·í®ðÅé¥Î§¹«á¡A¥»¸Ë¸m¦Û°Ê¤Á´«¨ì³Æ¥Î®ðÅé¡C
¥Ø«e¡AÁâ¦Xª÷º²Äl´¶¹M±Ä¥Î¡¨©ù¶QªºSF6©M¤u·~°ª¯ÂN2²V¦X®ðÅé§@¬°«OÅ@®ðÅé¡C¥Ñ©ó®ð·½¨ÑÀ³¡B²G±¡B¥[®Æ©M¼åª`¡B·Å«×µ¥ÅܤƦ]¯À¡A«OÅ@®ðÅé«Y²Î¥²®Ú¾ÚÄl¤lªº¤uªp¹ê®É½Õ¸`«OÅ@®ðÅ骺¿@«×©M¬y¶q¡A¤~¯à¬°º²¦À´£¨Ñ¦³®Äªº«OÅ@¡C·s«¬Áâ¦Xª÷º²Äl§¡±Ä¥Î´¼¯à±±¨î«OÅ@®ðÅé«Y²Î¡A´£¨Ñ®ÄªG²z·Q¦Ó¸gÀÙªº®ðÅé«OÅ@¡C
¼ö³ù³]pªºPLC¶°¦¨´¼¯à¼Æ±±¤è®×¡A¥D±±³æ¤¸®Ú¾Úº²Äl¤uªp©M®ð·½ª¬ºA¡A¦Û°Ê½Õ¸`«OÅ@®ðÅé¬y¶q©M¿@«×¡AµM«á±N¥R¤À²V¦Xªº«OÅ@®ðÅé¤À§O¤Þ¤J©XÁ纲«Ç¡C¬°º²¦À©M¼åª`«Y²Î´£¨Ñ¦³®Ä«OÅ@¡C¦P®ÉÁÙ¦b²V®ð«Y²Î¤¤¶°¦¨¤F¬ü°êDwyerÂà¤l¬y¶qp¡A¨Ïºò«æ°±¹q®É¥i¥H¹ê¬I¤H¤u¨ÑÀ³«OÅ@®ðÅé¡C
3.®ðÅé«OÅ@Âd¦p¹Ï©Ò¥Ü¡G
4.®ðÅé«OÅ@¸Ë¸mªº¥Dn¯SÂI¡G
¥þ¦Û°Ê±±¨î«Y²Î¡A¦P®É¨ã¦³¤â°Ê¾Þ§@¡A©Ê¯àéw¡C
¶WÀ£¡B¤íÀ£¦Û°Ê³øĵ¥\¯à¡F
¡X±Ä¥ÎSF6+N2®ðÅé«OÅ@§Þ³N,«OÃÒª÷ÄݲG¤£®ñ¤Æ¡B¯Â¼ä
¡X²V¦X®ðÅ駡¤Ã¡A°t¤ñ·Ç½T¡A¸`¬Ù¯à·½®ø¯Ó
¦Xª÷²G·Å«×¢J | ®ðÅé¤ñ¨Ò¡]Åé¿n%¡^ | ·»²Gªí±ª¬ºA | ||
ÅͶà | FLUX | µ²ªG | ||
650-705 | ·FÀêªÅ®ð+0.02%SF6 | µL | µL | |
650-705 | ·FÀêªÅ®ð+0.03%SF6 | ¦³ | µL |
5.·À¤õ¾¹¸Ë¸m¡G
¬°¤FÀ³«æ³B²zªº¥Øªº¡Aµ¹´ö¾÷¨®¤W°t³Æ¦³¨â²~D«¬·À¤õ¾¹¡C¾Þ§@û¸g¹L°ö°V´x´¤¨ä©Ê¯à¤Î¨Ï¥Î§Þ¥©¡C
¤E¡BÁâ¦Xª÷©X³ú
©XÁç§@¬°Áâ¦Xª÷º²Älªºº²Åé²±¸Ë©M¥[¼ö®e¾¹¡A¤£¶È¶Èn½T«O¦b¥[¼ö¹Lµ{¤¤¤£¦Ã¬VÁâ¦Xª÷´ö²G¡A¯à°÷ªø´Á©Ó¨üÀ£Å±¥Í²£¹Lµ{¤¤ªº³sÄò¥[¼ö¡AÁÙn¯à°÷¤Ï´_©Ó¨ü¥Í²£°±¹y¡BÁâ¦Xª÷«ì´_º²¤Æ©M¾®©T¦¬ÁY¾ÉPªº¥¨¤j¼öÀ³¤O¡C
Áâ¦Xª÷©XÁç¤@¯ë±Ä¥Î¤£¹ïÁâ²£¥Í¦Ã¬V¡CÁâ¦Xª÷©X³ú¦b¨Ï¥Î´Á±Nn¨ì¹F®É¡A¥i±Ä¥Î¶WÁnªi»ö¾¹´ú¶q©X³úªº«p«×¡A¨ÓÀËÅç©X³úªº¹Ø©R¤Î¬O§_»Ýn×´_¡C§Ú̪º¼å¥]¹qÄlªº¥X¼t®É³]p¦³º|´öĵ³øºÊ´ú¡C¥H¹F¨ì©Ê¯à¦X²z¨Ï¥Î¡C
¥Ø«eÁâ¦Xª÷ªº©X³ú¤@¯ë¦³¨âºØ§÷½è¡Gű³y¦Xª÷©X³ú¡B´_¦X¿ûªO