FS4003微型流量傳感器，FS4008質量流量計_廣州銘鴻自動化儀表有限公司

FS4000是廣州迪川儀器儀表有限公司採用的微機電係統（MEMS）流量傳感器技術和智能電子控制技術，專為普通氣體流量監測開發的產品。該傳感器能直接測量氣體質量流量，低壓損。適用於凈化空氣或氮氣流量監控，還可用於環境採樣器（如色譜分析儀器等）

FS4003流量傳感器，管道內徑為3mm，成本低測量範圍大到5SLPM；適用於粒子計數器和各類分析儀器。
FS4008流量傳感器，管道內徑為8mm，測量範圍大到50SLPM；可用於設備、潔凈氣體檢測，如：空氣採樣機，氣體分析儀等
產品特點:
- 專為管徑3mm和8mm的氣管中的低壓氣體流量測量而設計
- 支持多種連接方式，易於安裝與使用
- 傳感芯片採用熱質量流量計量，無需溫度壓力補償，保證了傳感器的計量
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使其量程比達到了100:1甚至更高
- 輸出方式靈活，既可通過通訊接口主動上傳數據或由上位機查詢輸出數據，也可通過模擬接口輸出線性的模擬電壓
    - 零點穩定度高
    - 全量程高穩定性、高度和優良的重復性
    - 低功耗、低壓損
    - 響應速度快
機械尺寸:

產品特點:

性能參數	FS4003	FS4008	單位
通徑	3	8	mm
大流量	2, 3, 4, 5	10, 20, 30, 40, 50	SLPM
量程比	100:1
精度	±(1.5+0.2FS)		%
重復性	0.75		%
零點輸出飄移	±30		mV
輸出飄移	0.12		%/^oC
響應時間	100		ms
工作電源	8~18Vdc,100mA
輸出方式	線性，RS232/模擬電壓0.5~4.5Vdc
大流量壓損	100	600	pa
大工作壓力	0.5		MPa
工作溫度	-10 ~ +55		^oC
存儲溫度	-20 ~ +65		^oC
工作濕度	<95%rh<>（無結冰、無凝露）<95%rh<>
機械接口	BSPT1/4(R1/4),4mm/6mm/8mm快速接頭
校準方式	空氣（或其他氣體），20^oC，101.325kPa
重量	57（帶R1/4,BSPT1/4接口） 71(帶4mm，8mm快速接口，68（帶6mm快速接頭)		g