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SRX模塊型高速控制器[過程∕溫度控制器]

SRX模塊型高速控制器[過程∕溫度控制器]實現了1秒40次的速反饋控制（採樣周期：0.025秒）。在半導體制造過程中的RTP操作(Rapid Thermal Process：急速加熱處理)和需高速升溫的控制業中可發揮其效用。具備模塊式溫控器省空間、省配線的特點，可實現整個裝置的小型化；另外，維護性能高也是其不容忽視的優點。