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◆啟動步驟:
打開控制櫃門,檢查電源主回路上的接線端子是否有松動,無異常後,推上空氣開關,給變頻控制櫃送電。
用轉換開關SQ1或SQ2,選擇好變頻器控制的風機。
變頻器顯示界面上,顯示正常後,旋轉電位器,調到所需頻率。
然後,按下啟動按鈕(綠色SB1),綠色的運行指示燈(HL5)點亮,同時風機也運行。
變頻器在運行狀態中,風機速度可用電位器隨時調節。
◆停機步驟:
按下停止按鈕(紅色SB2),就完成了風機停止運轉,同時右側的紅色指示燈(HL6)保持點亮狀態。
AMAT 0021-79128 FINGER LONG WALKING BEAM 200MM MIRRA REFLEXION APPLIED MATERIALS
0021-79127 FINGER SHORT WALKING BEAM 200MM MIRRA REFLEXION APPLIED MATERIALS
13532 APPLIED MATERIALS DOOR ACP ALUMINUM VITON 0040-96158
13533 APPLIED MATERIALS 300MM SPD SLIT VALVE DOOR CLAMP 0041-07784
AMAT Applied Materials 0190-03554
AMAT Applied materials 0190-03554
Amat Applied Materials 0190-09291
Applied Materials (AMAT) 0040-08076
Applied Materials (AMAT) 0200-24100
Applied Materials (AMAT) 0200-20055 BOC EDWARDS 233-0689-05
Applied Materials (AMAT) 0020-24171
AMAT Applied Materials 0200-00626
APPLIED MATERIALS 0050-42275
Applied Materials (AMAT) 0100-76294
Applied Materials AMAT Custom Elbow, 0050-40762
Applied Materials (AMAT) 0226-48885
AMAT Applied Materials 0100-90025
Applied Materials Pedestal Shield 0020-22844 Rev B ASL-032
Applied Materials (AMAT) 0140-90789
01-81917-00 / TURBO-BARATRON INTERCONNECT / APPLIED MATERIALS 8100
Applied Materials (AMAT) 0190-40181
Applied Materials (AMAT) 0190-36541
Applied Materials (AMAT) 0020-09031
Applied Materials (AMAT) 0040-92854
Applied Materials; Kit, Cables for Remote Pump Interface, Proc.Chamb. 0242-63841
Applied Materials; Kit, CHBR to Mainframe MTG, DPN 300mm ACP 0240-55256
Applied Materials; Kit,Chamber Adaptor, ACP Block II M/F DPN/DPN Plus 0242-45045
Amat Applied Materials Akt MVP2007/MVP
AMAT Applied Materials 0100-01033
AMAT Applied Materials 0020-26477
AMAT Applied Materials 0090-90967
11910 APPLIED MATERIALS PCB,COMPACTPCI CPI SBC BD MOD,CPRO3/128-30024 0190-16450
14522 APPLIED MATERIALS CPRO3/128 30000 REV C2 , 2.0 BIOS W 1, PCB 0190-12218
2441 APPLIED MATERIALS ASSY RF FILTER BOX CERAMIC HEATER 0090-04947
7093 APPLIED MATERIALS PCB DEVICENET DIGITAL I/O BOARD W/ CDN1 0010-20453 REV005
AMAT / Applied Materials 0020-92461
C0516 APPLIED MATERIALS ASSY PCB, LOADLOCK INTERLOCKS 0100-01344
10974 APPLIED MATERIALS SINGLE BD COMP. MKS AS03720-23 CPCI-3720 0190-24007
10031 APPLIED MATERIALS PCB ASSY, TC AMP INTERLOCK 300XZ 0100-00241
Applied Materials AMAT 3870-01574, Nupro 6LV-D1V333P-AB
AMAT Applied Materials 0200-03456
AMAT Applied Materials 0022-04929
Applied Materials (AMAT) 0020-31509
Applied Materials (AMAT) 0200-03575
Amat Applied Materials Akt MVP2007/MVP 2007
Applied Materials 300MM HP+ AXZ Gas Panel Intlk Module 0100-20458
AMAT Applied Materials 0130-00525
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Applied Materials Cover Ring SST 8” Coverage MA16404, 0020-24914
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70512360100 SDT Assembly AMAT Applied Materials