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◆啟動步驟:
打開控制櫃門,檢查電源主回路上的接線端子是否有松動,無異常後,推上空氣開關,給變頻控制櫃送電。
用轉換開關SQ1或SQ2,選擇好變頻器控制的風機。
變頻器顯示界面上,顯示正常後,旋轉電位器,調到所需頻率。
然後,按下啟動按鈕(綠色SB1),綠色的運行指示燈(HL5)點亮,同時風機也運行。
變頻器在運行狀態中,風機速度可用電位器隨時調節。
◆停機步驟:
按下停止按鈕(紅色SB2),就完成了風機停止運轉,同時右側的紅色指示燈(HL6)保持點亮狀態。
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0021-79127 FINGER SHORT WALKING BEAM 200MM MIRRA REFLEXION APPLIED MATERIALS
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Applied Materials Pedestal Shield 0020-22844 Rev B ASL-032
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Applied Materials (AMAT) 0190-36541
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Applied Materials (AMAT) 0040-92854
Applied Materials; Kit, Cables for Remote Pump Interface, Proc.Chamb. 0242-63841
Applied Materials; Kit, CHBR to Mainframe MTG, DPN 300mm ACP 0240-55256
Applied Materials; Kit,Chamber Adaptor, ACP Block II M/F DPN/DPN Plus 0242-45045
Amat Applied Materials Akt MVP2007/MVP
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AMAT Applied Materials 0020-26477
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2441 APPLIED MATERIALS ASSY RF FILTER BOX CERAMIC HEATER 0090-04947
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Applied Materials AMAT 3870-01574, Nupro 6LV-D1V333P-AB
AMAT Applied Materials 0200-03456
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