平面平晶檢測幹涉儀_冠乾科技(上海)有限公司

（1）應用領域

計量領域（平面平晶檢測），

半導體工業（晶片檢測），

大平板顯示（平面檢測），

手機工業（背板檢測）,

光學加工（窗口玻璃檢測），

精密機械（平面元件檢測）,

LED工業（藍寶石襯底檢測），

數據存儲和科研院校教學儀器等多種領域。

平面平晶、窗口玻璃、光學平面、金屬平面、陶瓷平面等光滑表面面形的快速測量，90°直角棱鏡和角錐測量。

（2）產品綜述

無應力平面檢測幹涉儀是模塊化組合檢測幹涉儀中的一種，

它採用組合式激光幹涉儀作為核心部件，主要用於檢測平面。

該產品包括光源、主機、成像以及鏡頭和相移等四大模塊，主要技術指標已達到國際水平, 採用更加簡便操作的俯式測量，擁有的測量精度和測量重復性，

突破了一等平面平晶限制，且其採樣點可達上百萬像素，能客觀反映被測平面全貌。不僅測量精度高，而且具有的測量效率。

此款幹涉儀可廣泛應用光學元件制造、計量檢測、生物醫學、

航空航天、國防、微電子、能源等眾多領域具有廣闊的市場前景。

（3）參數性能