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¡]A¡^¯Ç¦ÌÀ£¤J¡]Nano-Indentation¡^
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§¹¥þ²Å¦X ISO14577-1/02 ¼Ð·Ç¡C
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¤jÀ£¤J¦ì²¾¡G200£gm¡C
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¡]B¡^¯Ç¦Ì¤ÀªR»ö¤Î¯Ç¦Ì¹º²ª¡] Nano-Analyzer & Nano-Scratch¡^
«D¯}Ãa©ÊÁ¡½¤¼u©Ê¡]·¨¦¡¡^¼Ò¶q´ú¶q¡C
ºë«×¯Ç¦Ì¹º²ª²`«×±±¨î¡C
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¤j¥[¸ü¤O¡G100mN¡C
X-Y ©w¦ì¼Ë«~»O¡G100£gm¡C
©w¦ì¤À¿ë²v¡G10nm¡C
¤jÀ£¤J¦ì²¾¡G200£gm¡C
¤À¿ë²v¡G0.02nm¡C
¡]C¡^Åã·Lµw«×¡]Micro-Hardness¡^
¥[¸ü¨ø¸ü¦±½u¡C
®Ú¾Ú Oliver-Pharr ¤èªk¡A±o¨ì§÷®Æµw«×©M·¨¦¡¼Ò¶q¡C
§¹¥þ²Å¦X ISO14577-1/02 ¼Ð·Ç¡C
¥[¸ü¤O½d³ò¡G0.1mN-200N¡C
¤À¿ë²v¡G1£gN
¡]D¡^Åã·L¹º²ª¡]Micro-Scratch¡^
¥[¸ü«Y²Î¡Gªº¦Û°Ê¦øªA±±¨î¥[¸ü¡A¥iùÚ¤O¥[¸ü©Î³sÄò½u©Ê¥[¸ü¡C
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    µ¸¤ó©Mºû¤óª÷­è¥ÛÀ£ÀY¡]Rockwell and Vickers Indenter¡^ ¡C
    ª÷­è¥ÛÀ£ÀY¡]Diamond Stylus¡^ ¡G2-200 mm¡C
    ¿û°w¡]Steel needles¡^¡G0.1-1 mm¡C
    ±M§Q§Þ³N¡A·Lª÷­è¥ÛÃê¤l¡]Patented micro-blades¡^¡G0.4-1.0 mm¡C
    ¸ü²ü½d³ò¡G1£gN-10N¡A1mN-200N¡A0.1N-1kN¡C
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    Ánµo®g: °ªÀW¯à¹F¨ì 5.5MHz¡C
    ¼¯À¿«Y¼Æ¡C 
    ªí­±±µÄ²¹qªý¡C 
    ¥Î©ó·LÆ[¹Ï¹³ªº¼Æ¦r¦¡¥ú¾ÇÅã·LÃè¡G550X¡C
    CCD¬Û¾÷¡GµøÀW¤ÎÀR¤î¹Ï¹³¡C
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¥[¸ü¤O½d³ò¡G0.1mN-200N¡C
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¡]E¡^¤Tºû§Î»ª¡]3D Surface Profiler¡^
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