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5. ¸ËÄl¶q¡G        1000kg ¡]§t¤u¸Ë¡^

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12. ¤u§@¯uªÅ«×¡G   10-3Pa¶q¯Å ¡]ªÅÄl¡B§NºA¡^

13. ©â¯uªÅ³t²v¡G   ©â¨ì¤u§@¯uªÅ«×¡Õ50min(¤£§tÂX´²¬¦¹w¼ö®É¶¡)

14. À£¤É²v¡G       0.4Pa/h¡]ªÅÄl¡B§NºA´ú¸Õ¡^

15. ¤j¥R®ðÀ£¤O¡G ¡Õ2bar ¡]À£¤O¡B¥R®ðÀ£¤O¥i½Õ¡^

16. ¥[¼ö¥\²v¡G     240KW

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