¡»LED¦æ·~¤¤MOCVD¥Î§N¤ô¾÷²Õ¡AùÚ·ÅùÚÀ£«¬§N«o«Y²Î¡G
¦]¬°MOCVD¥Íªø¨Ï¥Îªº·½¬O©ö¿U¡B©öÃz¡B¬r©Ê«Ü¤jªºª«½è¡A¨Ã¥Bn¥Íªø¦h²Õ¤À¡B¤j±¿n¡BÁ¡¼h©M¶WÁ¡¼h²§½è§÷®Æ¡C¦]¦¹¦bMOCVD«Y²Îªº³]p«ä·Q¤W¡A³q±`n¦Ò¼{«Y²Î±K«Ê©Ê¡A¬y¶q¡B·Å«×±±¨în·Ç¡A²Õ¤ÀÅÜ´«n¨³³t¡A«Y²Înºò´êµ¥¡C
¤£¦P¼t®a©M¬ã¨sªÌ©Ò²£¥Í©Î²Õ¸ËªºMOCVD³]³Æ¬O¤£¦Pªº¡C¬°¤F´£°ª¥Í²£®Ä²v¡A§ïµ½²£«~½è¶q¡B°§C¥Í²£¦¨¥»µ¥½Ñ¥Øªº¡A¹ï¥Í²£¹Lµ{ªº·Å«×±±¨î¡A¤é¯q¬°¤HÌ©Ò»{ÃÑ¡C¤u·~§N¤ô¾÷¨ã¦³¿W¥ßªº¨î§N«Y²Î¡A¤£¹³¤@¿ìªº¦ÛµM¤ô©Î¤ô¶ð´²¼ö¤è¦¡·|¨üÀô¹Ò·Å«×¼vÅT¡A±q¦Ó¼vÅT¹ï·Å«×ªº¦³®Ä±±¨î¡C¤¤Ä¬¼ÚµÜ¯SµP¤u·~§N¤ô¾÷±Ä¥Îªk°ê©Î¬ü°ê²£À£ÁY¾÷¡A·N¤j§Q¤ô¬¦¡A¶°¤¤¤é¥»¡B¦è¼Úµ¥°êªº¹s³¡¥ó¡A¥Ñ§N®ð¤uµ{®vºë¤ß³]p¡C¬Ù¹q¡B¬üÆ[¡B¤ô·Å±±¨î½d³ò¦a3¢J- 30¢J¡Aºë«×¹F0.1¢J¡A©Ò¥Í²£ªº¤u·~§N¤ô¾÷¦³·§N©M¤ô§N¨âºØ§Î¦¡¡A·§N¦¡µ²ºc»E´ê¡A¨Ï¥Î¤è«K¡F¤ô§N¦¡Åé¿n¤p¡Bļµ§C¡C¡]MOCVD¥Î§N¤ô¾÷²Õ¥Dn«È¤á¦³¶øÛ¼w¡A¤j³s¤Ñ¤@¡^¡C
LED¦æ·~¤¤MOCVD¥Î§N¤ô¾÷²Õ¬O¤@ºØ¤u·~¥Î¨Ó´`Àô²GÅé°·Å©Ò»Ýn¹F¨ì©Ò»Ý·Å«×¦Ó´£°ª¥Í²£®Ä¯qªº¨î§N³]³Æ¡]¤S¥s°µ¡Gá¤ô¾÷¡B¦B¤ô¾÷¡B¨î§N¾÷¡B§Ná¾÷¡B§N«o¾÷µ¥¡^¡C³o¨Ç²GÅé¯à°÷¬y¹L¼ö¥æ´«¾¹¨ì¹F¹ïªÅ®ð©Î³]³Æ°·Åªº¥Øªº¡C
¡»MOCVD¥Î§N¤ô¾÷¡AùÚ·ÅùÚÀ£«¬§N«o«Y²Î²£«~²¤¶¡G ¥»«Y¦C§N¤ô¾÷§¡±Ä¥Î¦h¾÷Áp¥Î§Þ³N,¨Ï±o§N¤ô¾÷©Ê¯à§ó¨Î¡C
1¡B©Ê¯àéw¡G ±Ä¥Î¦hÓÀ£ÁY¾÷¨ÃÁp¨Ï¥Î¡A¨CÓÀ£ÁY¾÷¦Û±a¤@Ó¿W¥ßªº¨î§N¦^¸ô¡A§Y»]µo¾¹¡B§N¾®¾¹¿W¥ß ¡F©Ò¦³À£ÁY¾÷¥Ñ²Î¤@ªº·L¹q¸£±±¨î«Y²Î«ü´§¡A³vÓ¶}¡BÃö¾÷¡A¬Û¤¬¤§¶¡µ´¤£·|¬Û¤¬·FÂZ¡A¥[¤W¸Ó«~µP¾÷¥þ³¡±Ä¥Îì¸Ë¥¿«~¨î§@¡A³æ¾÷¬G»Ù²v·¥§C¡A ºî¦X¥H¤Wì¦]¡A¥i¥H«OÃÒ¸Ó«Y¦C¾÷¦³µÛ°ª«×éwªº©Ê¯à¡A¦bªø¦~³sÄò¹B¦æ±¡ªp¤U¦ÓµL»Ý¦AÁʨ䥦³Æ¥Î¾÷¡C ¡@¡@
2¡B¬Ù¹q¸`¯à¡G±Ä¥Î¦hÓ¤¤¤p¥\²vÀ£ÁY¾÷¨ÃÁp¨Ï¥Î¡A¶}¡BÃö¾÷®É¹ï¹qºôªº·FÂZ·¥¤p¡AÀHµÛt²üªºÅܤơA¾÷²Õ«K¦Û°Ê½T©w¶}¾÷ªº¼Æ¶q¡A«OÃÒ¶}±ÒªºÀ£ÁY¾÷³B©ó¤u§@ª¬ºA¡A±q¦Ó¦³®Ä¸`¬ù¹q¯à¡C¡@¡@
3¡B¨Ï¥Î¹Ø©Rªø¡G»]µo¾¹¡B§N¾®¾¹³]p«D±`¦X²z¡A¨Ã¥B¸m©óÀ£ÁY¾÷¤W¤è¡A¦b¾ãÓ¹B¦æ¹Lµ{¤¤¡Aµ´¤j³¡¤À¼í·Æªo©l²×°±¯d ¦bÀ£ÁY¾÷¤º¡A«OÃÒÀ£ÁY¾÷ªº¼í·Æ¡C
4¡B³o¨Ç«Y¦C¾÷«¬¥i©w°µ¶W§C·Å«¬¡]¥i§C¦Ü¹s¤U40«×¡^