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| MF-30 | |
| ¿E¥ú¾¹¹B¦æ¼Ò¦¡ | ¯ß½Ä |
| ¿é¥X¿E¥ú¥\²v, W | 30 |
| 20kHz ®É³æ¯ß½Ä¿é¥X¯à¶q, mJ | 1.0 |
| ¿E¥ú¯ß¼e, ns | <30 |
| 20kHz ®É¯ß½Ä®pÈ¥\²v, kW | >20 |
| ¯ß½Ä«´_²v, kHz | 20 ¦Ü 100 |
| ¿é¥X¥\²v½Õ¾ã½d³ò, % | 10 - 100 |
| ¿é¥X¥\²véw«×, % | <+/- 2 |
| ¿E¥úªiªø, nm | 1060 |
| ¿E¥ú¥´¼Ð±¿n mm | 110x110¡]®Ú¾Ú«È¤á»Ý¨D¿ï°t¡^ |
| ¿E¥ú±½´y³t«× m/sec | °ª 10 |
| Àx¦s·Å«×, ¢XC | - 20 to + 60 |
| ¹B¦æÀô¹Ò·Å«×, ¢XC | + 15 to + 40 |
| ¿é¤J¹qÀ£. VAC | 220 |
| ¿é¤J¹q¥\²v, W | 600 |
| §N«o¤è¦¡ | ·§N |
| ¾ã¾÷«¶q¡Akg | 80kg |
| ¾ã¾÷º¡t²ü¯Ó¹q¥\²v,kw/h | 1.0 |
| ¾ã¾÷¨Ï¥Î¹Ø©R¡Ah | 10 ¸U |
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| 1 | ¿E¥ú¥´¼ÐÀY ¡]HM «Y¦C¡^ | °ª³t±½´y®¶Ãè | 10 ³q¥ú | 2 Ó | HM |
| ®¶ÃèÅX°Ê¥d | 2 Ó | ||||
| ±½´y³õÃè | F=160 | 1 Ó | ·s¥[©Y | ||
| 2 | ¿E¥ú¾¹ | co2¿E¥ú¾¹ | davi | 1 ®M | ¼w°ê |
| 3 | ¿E¥ú¥´¼Ð¾÷¾÷Âd | ¾÷Âd | 1 ®M | HM | |
| 4 | ¹q¸£¤Î³n¥ó±±¨î«Y ²Î | ¹q¸£ | »O¦¡ | 1 »O | HM |
| ¥´¼Ð³n¥ó«Y²Î | LMX-1 | 1 ®M | HM | ||
| 6 | ¤u§@»O | ºë±K¤u§@»O | 1 »O | HM |
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