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晶圓真空退火爐 低溫退火設備 青島晨立

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詳細信息

晶圓真空退火爐主要用於半導體晶圓在高真空環境下的低溫退火。

尺寸：4-8英寸晶圓

晶圓舟：標準25片

控溫精度：±3℃

升溫速率：10℃/min

潔凈等級：百級潔凈

真空度：5*10-4 Pa

使用溫度：200-550度



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青島晨立電子有限公司
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