4022.436.87951_寧德潤恒自動化設備有限公司

4022.436.87951阿斯麥

4022.436.87951阿斯麥簡介及參數解析

一、設備概述寧德潤恒自動化作為專業自動化設備供應商，致力於為半導體制造領域提供解決方案。本次推出的4022.436.87951阿斯麥設備，是ASML公司旗下的一款先進光刻係統，專為晶圓加工設計。該設備融合了ASML在光學、精密機械及自動化控制領域的技術，適用於先進邏輯芯片及存儲芯片的制造需求，助力客戶實現、穩定的生產目標。

二、核心參數解析以下為4022.436.87951阿斯麥設備的關鍵技術參數，涵蓋性能、精度及效率核心指標：

光學係統

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光源類型：ArF準分子激光（波長193nm），支持多模式光源切換

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分辨率能力： 22nm（典型值），支持雙重圖案化技術

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數值孔徑（NA）：0.75高數值孔徑鏡頭，提升成像對比度與分辨率

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套刻精度（Overlay）： 3nm（3σ），確保多層圖案對齊精度

機械與運動控制

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工作臺移動速度： 500mm/s（高速模式），縮短加工循環時間

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晶圓承載係統：12英寸（300mm）兼容，支持自動上下料

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振動控制： 0.1nm RMS（XYZ三軸），保障極端環境穩定性

生產效率指標

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產能（Wafer Throughput）： 200WPH（每小時晶圓處理量）

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良率提升技術：內置缺陷檢測與修正係統，降低工藝損耗

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自動化集成：支持SEMI GEM標準，無縫對接晶圓廠智能管理係統

環境與能耗

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工作溫度範圍：20±0.5℃（恒溫控制），確保設備長期穩定運行

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電力需求：380V±5%，總功率 150kW（含冷卻係統）

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佔地面積：約12m?（模塊化設計，靈活部署）

三、技術亮點與優勢

精度：採用ASML的TWINSCAN架構，結合先進對準技術，實現納米級制程控制。

產能：優化的光路設計與高速運動係統，大幅提升設備稼動率。

智能運維：內置AI預測維護模塊，實時監測設備狀態，降低非計劃停機風險。

工藝兼容性：支持多種光刻膠及工藝配方，靈活適配不同客戶的技術路線。

四、應用領域該設備主要應用於：

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先進邏輯芯片（如5nm及以下制程）的前道光刻工藝

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高密度存儲芯片（如3D NAND、DRAM）的關鍵層制造

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化合物半導體（GaAs、SiC）等特種材料的精密加工

五、服務支持寧德潤恒自動化提供全生命周期服務：

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設備安裝與調試：由ASML認證工程師團隊完成

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技術培訓：涵蓋操作、維護及工藝開發

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備件供應與快速響應：24/7技術支持，確保客戶生產連續性

結語4022.436.87951阿斯麥設備憑借其的性能與穩定性，為半導體制造提供堅實的技術支撐。

4022.436.87951阿斯麥

寧德潤恒自動化設備有限公司

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聯係人：吳先生
職位：銷售部門
手機： 18596688429
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公司簡介

寧德潤恒自動化設備有限公司位於福建新增長區域之首的環三都澳區域，新興的港口城市-寧德。寧德潤恒自動化設備有限公司是一家以工業自動化為主營,集科,工,貿於一體、專業從事品牌（DCS係統）（機器人係統）（大型伺服控制係統）模塊備件銷售，我司售出的模塊備件均提供一年的質量質保、並且都經過了嚴格的測試和認證。

我司擁有進出口權、能夠提供不同國別、廠商的設備以及模塊、解決您多處尋找的麻煩或對產品質量問題的擔心等、在價格上我們有很大的優勢、產品詳細信息、誠歡您來電查詢或使用E-mail查詢！

主營產品，各品牌DCS、PLC備件，優勢供應，充足庫存：

?Invensys Foxboro（福克斯波羅）：I/A Series係統，FBM（現場輸入/輸出模塊）順序控制、梯形邏輯控制、事故追憶處理、數模轉換、輸入/輸出信號處理、數據通信及處理等。

?Invensys Triconex: 冗餘容錯控制係統、基於三重模件冗餘（TMR）結構的現代化的容錯控制器。

?Westinghouse（西屋）： OVATION係統、WDPF係統、MAX1000係統備件。

?Rockwell Allen-Bradley: Reliance瑞恩、SLC500/1747/1746、MicroLogix/1761/1763/1762/1766/1764、CompactLogix/1769/1768、Logix5000/1756/1789/1794/1760/1788、PLC-5/1771/1785等。

?Schneider Modicon（施耐德莫迪康）：Quantum 140係列處理器、控制卡、電源模塊等。

?ABB：工業機器人備件DSQC係列（中二中三，中四， S4C ， S4C ， IRC5）、Bailey INFI 90等。

?Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens數控係統等。

?Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等係列。

?XYCOM：I/O 、VME板和處理器等。

?GE FANUC(GE發那科)：模塊、卡件、驅動器等各類備件。

?Yaskawa（安川）：伺服控制器、伺服馬達、伺服驅動器。

?Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅動模塊等。

?Woodward（伍德沃德）：SPC閥位控制器、PEAK150數字控制器。

工業機器人係統備件

?優勢品牌：ABB，AB，施耐德，摩托羅拉，GE，西門子，FANUC，西屋，FOXBORO，TRICON，霍尼韋爾，OMRON，KUKA，三菱等等設備

【誠信至上，海外進口，質量可靠，歡迎，誠歡您來電查詢或使用E-mail查詢等。潤恒自動化竭誠為您服務！】