MITSUBISHI HC-SFS502_廈門光沃自動化設備有限公司

MITSUBISHI HC-SFS502

1.變頻調速

變頻調速是指通過改變電源的頻率從而改變電機轉速。它採用一套的變頻器來改變電源的頻率以實現變頻調速。變頻器本身價格較貴，但它可以在較大範圍內實現較平滑的無極調速，且具有硬的機械特性，是一種較理想的調速方法。近年來，隨著電力電子技術的發展，交流電機採用這種方式進行調速越來越普遍。

2. 變極調速

變極調速是指通過改變異步電動機定子繞組的接線以改變電動機的極對數從而實現調速的方法。由式（7-20）可知，改變電動機的磁極對數，可以改變電動機的轉速。但由電動機的工作原理可知，電動機的磁極對數總是成倍增長的，所以電機的轉速也就階段性上升，無法實現無極調速。鼠籠式異步電動機轉子的極數能自動與定子繞組的極數相適應，所以一般鼠籠式異步電動機採用這種方法調速。

異步電動機可以通過改變電動機的定子繞組接法來實現變極調速，也可以通過在定子上安裝不同的定子繞組來實現調速，這種能改變定子磁極對數的電動機又稱為多速電動機。圖7-20所示為一個4/2極雙速電機的定子繞組接法及對應的單相磁場分布示意圖。電動機每相有兩個線圈，如果把兩兩線圈並聯起來，接成雙Y形，則合成磁場為一對磁極。如果將兩兩線圈串聯起來，接成△形，則合成磁場為兩對磁極。這兩種接法下電動機同步轉速差一倍。

MITSUBISHI HC-SFS502

Semiconductor parts from various manufacturers Novellus，

Semiconductor parts Novellus Auriga，

Novellus C1-SN 95-09-962，

Novellus C1-SN 89-11-062，

Novellus C1-SN 96-47-2195，

SpeedFam-IPEC/Novellus 676，

Novellus Concept Two 8" 2 ，

NOVELLUS INOVA CVD TiN MODULE，

Novellus 676 Wafer Polisher，

Novellus C1-Tungsten-Japan，

Novellus Concept Two II ，

NOVELLUS 02-00093-00 ，

Porter Model 27017，

Novellus Concept-3 Gas Chemical Delivery C3，

Microwave Plasma Source Assy，

CONTROLLER NOVELLUS 270019800 ，

CONTROLLER NOVELLUS 27017400 ，

CONTROLLER NOVELLUS 270019800，

CONTROLLER NOVELLUS 27017400，

NOVELLUS 02-10387-01，

NOVELLUS 02-134263-00 ，

Novellus 15-265814-00 ，

Novellus Sequel HDP Speed chamber body，

Vactronic PECVD Plasmatherm Etch Tool Oxford Novellus，

NOVELLUS 02-293756-00，

COMDEL 27-257659-00，

Novellus 02-270441-00 ，

Microwave Plasma Source Assy,，

Novellus Concept Two Altus Wafer Chamber CVD-W complete，

NOVELLUS 2587998-01，

NOVELLUS 02-034310-00 ，

BROOKS ASSY ROBOT ATR8 3FP NOVELLUS，

NOVELLUS 27-121645-00 ，

Novellus Concept II Two C2-DCLM-S ，

Novellus 02-264308-00，