«~µP¡G¤Ñ¦æ·s§÷®Æ | ³W®æ¡G40nm | ²£¦a¡G«n¨Ê |
§Ú¤½¥q¥Í²£ªº£\¬Û4N°ª¯Â®ñ¤Æ¾T¡A²£«~²É®|¤p¡A²É«×¤À¥¬§¡¤Ã¡A¤¶¹q±`¼Æ°ª¡A¹qµ´½t©Ê¦n¡A¾É¼ö«Y¼Æ°ª¡A£\´¹¬ÛÂà¤Æ§¹¥þ¡A¬°¥Õ¦â¯»Åé¡A´¹«¬´¹»ªÀu¨}¡A§÷®Æ¤Ø¤oéw©Ê°ª¡C
²£«~§Þ³N«ü¼Ð
«¬¸¹ | TAP-A26 | TAP-A18 | TAP-A60G | TAP-A125G | TAP-A80G | TAP-A05G | TAP-A09G |
´¹ §Î | £\¬Û | £\¬Û | £\¬Û | £\¬Û | £\¬Û | £\¬Û | £\¬Û |
¥~Æ[ | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé | ¥Õ¦â¯»Åé |
²É®| D50 | 40nm | 80nm | 0.6um | 1.0um | 2.5um | 3.5um | 5.0um |
¯Â«× % | >99.99 | >99.99 | >99.99 | >99.99 | >99.99 | >99.99 | >99.99 |
¤ñªí±¿n m2/g | 8 | 8 | 5.0 | 3.0 | 1.0 | 1.0 | 0.8 |
°ï¿n±K«×g/cm3 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.2 | 0.3 | 0.3 | 0.35 |
²£«~©Ê¯à¤ÎÀ³¥Î
99.99%¥H¤W¯Â«×ªº°ª¯Â®ñ¤Æ¾T¥Dn¥Î©ó¨î³y°ªÀ£¶u¿O¿OºÞ¡Bªø¾l½÷»W¥ú§÷®Æ¡Bµ}¤g¤T°ò¦âº·¥ú¯»¡B¾Y¹q¦À¹j½¤Ò\ÂСB¶°¦¨¹q¸ôªO¡B¿ýµ±a¶ñ®Æ¡Bµ´½t¯È¶ñ®Æ¡Bºë±K¶b©Ó¡B¶ì®Æªý¿U¾¯¡B¾ó½¦¼W±j¾¯¡B·s«¬¦h¥\¯à³³²¡²K¥[¾¯¡B¬ã¿i§÷®Æ¡B¯SºØ¶ñ®Æ¡B°ªÀW³³²¡°ò¤ùµ¥¡C
¥]¸Ë¡G1kg¡A20kg
¦sÀx©M¹B¿é¡G¦s©ñ©ó³±²D·FÀê±K³¬³B¡A»·Â÷¼ö·½¡C«ö¤@¯ë¤Æ¾Ç«~¹B¿é¡C