技術參數表

技術參數表-1（小量程）

MSE-TS800係列	x/10	x/30	x/40	x/100	x/250	x/500	x/600
基礎安裝距離mm	230	300	330	500	230	300,1000	230
測量範圍mm	10	30	40	100	250	500	600
線性精度0.1%	10um	30um	40um	0.1mm	0.25mm	0.5mm	0.6mm
分辨率0.01%	1um	3um	4um	10um	25um	50um	60um
溫漂	0.02% /°C
測量頻率	大9400Hz
激光器類型	660nm，紅色半導體激光或者405nm UV藍色激光
激光器功率/等級	4.8mW; 3R(IEC60825-1)
數字量輸出	RS232 (大460.8 kbps); RS485(大921.6 kbps) RS232+CAN V2.0B (大1Mbps); RS232(RS485)+以太網
模擬量輸出	4-20mA ( 500歐姆負載 )，或者 0-10V
同步觸發輸入	2.4 ~ 5 VDC（CMOS, TTL）
邏輯輸出	可編程，NPN, 大100mA, 大40V
供電，功率	10 ~ 32 VDC, 1.5 ~ 2 W
防護等級	IP67 （對於帶插頭的傳感器）
震動	20g/10-1000Hz，6個小時，在XYZ每個坐標軸上
衝擊	30g/6ms
工作溫度	-10 - +60°C (-30- +60°C帶內部加熱功能)
存儲溫度	-20 - 70°C
環境照度	30,000
濕度	5-95%（無凝結）
外殼	鑄鋁
重量（不帶電纜）	500g

說明：安裝距離，是從激光位移傳感器到測量範圍起點之間的距離。（參見原理圖）

技術參數表-2（大量程）

MSE-TS800係列	x/1000	x/1000	x/1500	x/2000	x/2500
基礎安裝距離mm	1300	380	390	410	420
測量範圍mm	1000	1000	1500	2000	2500
線性精度	±0.1%		±0.2%
分辨率	0.01%		0.03%
溫漂	0.02% /°C
測量頻率	9400Hz
激光器類型	660nm，紅色半導體激光或者405nm UV藍色激光
激光器功率	4.8mW;			20mW
激光器等級	3R (IEC60825-1)			3B (IEC60825-1)
數字量輸出	RS232 (大460.8 kbps); RS485(大921.6 kbps) RS232+CAN V2.0B (大1Mbps); RS232(RS485)+以太網
模擬量輸出	4-20mA ( 500歐姆負載 )，或者 0-10V
同步觸發輸入	2.4 ~ 5 VDC（CMOS, TTL）
邏輯輸出	可編程，NPN, 大100mA, 大40V
供電	10 ~ 32 VDC, 1.5 ~ 2 W
防護等級	IP67 （對於帶插頭的傳感器）
震動	20g/10-1000Hz，6個小時，在XYZ每個坐標軸上
衝擊	30g/6ms
工作溫度	-10 - +60°C (-30- +60°C帶內部加熱功能)
存儲溫度	-20 - 70°C
環境照度	30,000
濕度	5-95%（無凝結）
外殼	鑄鋁
重量（不帶電纜）	500g

激光位移傳感器軌道平整度的檢測用