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³q®| | 1.0 | 1.8 | mm |
¤j¬y¶q | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
¶qµ{¤ñ | 2132132132131231312100:1 | ||
ºë«× | ¡Ó(1.5+0.2FS) | % | |
«´_©Ê | 0.25 | %Ū¼Æ | |
¹sÂI¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó30 | mV | |
¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó0.12 | %/oC | |
ÅTÀ³®É¶¡ | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
¤u§@¹q·½ | 8~18Vdc,50mA | ||
¿é¥X¤è¦¡ | ½u©Ê¡ARS232/¼ÒÀÀ¹qÀ£0.5~4.5Vdc | ||
¤j¬y¶qÀ£·l | 350 | 300 | pa |
¤j¤u§@À£¤O | 0.5 | MPa | |
¤u§@·Å«× | -10 ~ +55 | oC | |
¦sÀx·Å«× | -20 ~ +65 | oC | |
¤u§@Àã«× | <95%rh<>¡]µLµ²¦B¡BµL¾®ÅS¡^ | ||
¾÷±ñ±µ¤f | ¥i©î¦¡³nºÞ±µÀY | ||
®Õ·Ç¤è¦¡ | ªÅ®ð¡]©Î¨ä¥L®ðÅé¡^¡A20oC¡A101.325kPa | ||
Ǧq | 15 | g | |
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