«~µP¡G¼s¦{}¤t»öªí | ³W®æ¡GDC | §÷½è¡G¤£ù׿û ¶ì®Æ ¾T¦Xª÷ |
²£¦a¡G¼s¦{ | ¦æ·~¡G¦Ã¤ô ¾T·~ ¿û§÷ «Ø§÷¦æ·~ |
FS4001«Y¦C¤p®ðÅé½è¶q¬y¶q¶Ç·P¾¹¬O±Mªù¬°¦UÃþ¤p¬y¶q®ðÅ骺´ú¶q©M¹Lµ{±±¨î¦Ó³]pªº¡C³o¤@«Y¦C¶Ç·P¾¹§¡±Ä¥Î¥»¤½¥q¦Û¥D¬ãµoªº·L¾÷¹q«Y²Î¡]MEMS¡^¬y¶q¶Ç·Pªä¤ù¨Ó¨î§@¡A¾A¥Î©ó¦UÃþ²M¼ä®ðÅé¡Cªº«Ê¸Ë§Þ³N¨Ï¤§¥i¥Î©ó¦UÃþºÞ®|¡A¦¨¥»§C¡B©ö¦w¸Ë¡B¤£»Ýn·Å«×À£¤O¸ÉÀv¡A¥i´À¥N®e¿n¦¡©ÎÀ£®t¦¡ªº¶Ç²Î¬y¶q¶Ç·P¾¹¡C
²£«~¯SÂI¡G
- ¶Ç·P¾¹ÆF±Ó«×°ª,¦³·¥¤pªº©l°Ê¬y¶q
- ¶Ç·P¾¹ªä¤ù±Ä¥Î¼ö½è¶q¬y¶qp¶q,µL»Ý·Å«×À£¤O¸ÉÀv,«OÃÒ¤F¶Ç
- ·P¾¹ªºp¶q
- ¦b³æÓªä¤ù¤W¹ê²{¤F¦h¶Ç·P¾¹¶°¦¨,¨Ï¶Ç·P¾¹ªº¶qµ{¤ñ¤j¤j´£°ª
- ¶Ç·P¾¹ªº¹sÂIéw«×°ª
- ¥þ¶qµ{°ªÃ©w©Ê
- ¥þ¶qµ{°ª«×©MÀu¨}ªº«´_©Ê
- §C¥\¯Ó
- §CÀ£·l
- ÅTÀ³®É¶¡§Ö
¥Dn°Ñ¼Æ¡G
©Ê¯à°Ñ¼Æ | FS4001 | ³æ¦ì | |
³q®| | 1.0 | 1.8 | mm |
¤j¬y¶q | 30, 100, 200 | 500, 1000 | SLPM |
¶qµ{¤ñ | 2132132132131231312100:1 | ||
ºë«× | ¡Ó(1.5+0.2FS) | % | |
«´_©Ê | 0.25 | %Ū¼Æ | |
¹sÂI¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó30 | mV | |
¿é¥XÄƲ¾ | ¡Ó0.12 | %/oC | |
ÅTÀ³®É¶¡ | 4, 8, 16, 33 , 65 , 131 | mses | |
¤u§@¹q·½ | 8~18Vdc,50mA | ||
¿é¥X¤è¦¡ | ½u©Ê¡ARS232/¼ÒÀÀ¹qÀ£0.5~4.5Vdc | ||
¤j¬y¶qÀ£·l | 350 | 300 | pa |
¤j¤u§@À£¤O | 0.5 | MPa | |
¤u§@·Å«× | -10 ~ +55 | oC | |
¦sÀx·Å«× | -20 ~ +65 | oC | |
¤u§@Àã«× | <95%rh<>¡]µLµ²¦B¡BµL¾®ÅS¡^ | ||
¾÷±ñ±µ¤f | ¥i©î¦¡³nºÞ±µÀY | ||
®Õ·Ç¤è¦¡ | ªÅ®ð¡]©Î¨ä¥L®ðÅé¡^¡A20oC¡A101.325kPa | ||
Ǧq | 15 | g |