«~µP¡G¼w´¶Às | ³W®æ¡G©w¨î | §÷½è¡G¾T¦Xª÷ |
¹Ï¯ÈÀJ¨è¾T³æªO²{³õ¥Í²£¦³¤°»ò³W®æ¤Ø¤on¨D©O¡H
¨ä¹ê©w¨îÃóªÅ¡BÀJ¨è¤uÃÀÃóªÅ¾T³æªO¹Ï®×¨C¶ôªOªº¤Ø¤o¼e¤£¯à¶W¹L1.2¦Ì¡A°ª¤£¯à¶W¹L2.4¦Ì¡A¥Ø«eªº§Þ³N¥i¥H°µ±ÃóªÅ¾T³æ
ªO¥W¥YÃóªÅ¾T³æªO¡BÂù¦±ÀJ¨è¾TªO¡B¥]¬W¤£³W«hÃóªÅ¾TªO¡BÀJ¨èÃÀ³N¾TªO¡B³z¥ú©·§Î¬ï¤Õ¾TªOµ¥¡A¥un±z·Qªº¨ì¡A´N°µ¡Aº¡¨¬¤£¦P¥Î¤áªº»Ý¨D¡C
±Ä¥Î§l¤ô°Ê¤O¾Çªk©MÀ£´ú¤Õªk´ú¸Õ¬â¼ßªº¤Õ»Ø¯S¼x,¬ã¨s¥Û¦Ç¥Û¯»¹ï¬â¼ß¤Õµ²ºcªº¼vÅT.¬ã¨sªí©ú:ºU¤J¥Û¦Ç¥Û¯»«á,¬â¼ßªº¤Õ»Ø²v²¤¦³¼W¤j,¦ý¤j©ó200nmªº¦³®`¤Õ©úÅã´î¤Ö,50,20nm¥H¤UªºµL®`¤Õ©M¤Ö®`¤Õ¬ÛÀ³,¬â¼ßªº¤Õ»Ø²Ó¤Æ,³o¹ï§÷®Æªº@¤[©Ê¦³§Q;¬â¼ßªº¤Õµ²ºc¨ã¦³¤À§Î¯S¼x,ºU¥[¥Û¦Ç¥Û¯»«á,¬â¼ß¤Õ»Ø¤À§Îºû¼Æ¼W¤j,¤Õ»Øµ²ºc§ó¬°´_Âø,²Ó¤Õ§ó¦h.
¹Ï¯ÈÀJ¨è¾T³æªO²{³õ¥Í²£¥Í²£¼t®a¦¨¥»°ª¶Ü¡H¦h¤Ö¿ú¤@¤è¡H
µª¡GÃóªÅ¡BÀJ¨è¾TªO«p«×³£n2.0mm¡A°£«DªO±«Ü¤p«p«×¥i¥H°µ1.5mm
1.5mm«p ÃóªÅ¾T³æªO¡G186¤@¤è
¡@¡@2.0mm«p ÃóªÅ¾T³æªO¡G218¤@¤è
2.5mm«p ÃóªÅ¾T³æªO¡G246¤@¤è
ª`¡G¥H¤W¬O±`³W²³æªºÃóªÅ¹Ï®×¾TªO»ù®æ¶È¨Ñ°Ñ¦Ò¡A¹ê»Ú¥HCAD¹Ï¯È³ø»ù¬°·Ç
¨C¤@Ó«p«×¡AÃC¦â¡A³W®æ¤Ø¤o¤£¤@¼Ë¡A»ù®æ¤]¬O¤@¼Ë¡A¬°¤F¯à·Ç½T«È¤á³ø»ù¡A¼t®a«Øij«È¤á¦Û¤v´£¨ÑCAD¹Ï¯È¡A²£«~«p«×¡A²£«~¹Ï®×¡A´Ú¦¡¤~¯à·Ç½Tµ¹±z³ø»ù¡C
¤j®a¤]ª¾¹D***ªñ¨â¦~¾T¿õ»ù®æªi°Ê«Ü¤j¡A¦³ªº®ÉÔ¤@ª½¤W¤É¡A¦³ªº®ÉÔ¬ðµM´N°¨ì¤F***§CÂI¡A¦³®ÉÔ¦³º¦¨ì°ªÂI¡A¥H¨C¤Ñ¾T»ù¯B°Ê¤£¦P¹ï²£«~¶i¦æ³ø»ù¡A¾T¿õ»ù®æªi°Ê¦ÛµM¼vÅTÃóªÅ¤¸¯ó¾T³æªO¤Î¨ä¥L¾T§÷®Æªº»ù®æ¡C