«~µP¡G¼w´¶Às | ³W®æ¡G©w¨î | §÷½è¡G¾TªO |
ÃC¦â¡G©w¨î | ªá¦¡¡G¥i©w¨î |
Ĭ¦{´º°Ï§ï³y¾T¦Xª÷ªá®æ«Ì·¹jÂ_©w¨î¤Ø¤o¥Í²£
¾Tµ¡ªá¼t®a©w¨î¾Tµ¡ªá¡A²{¥N«Ø¿v¸Ë¹¢³£³ßÅw¤Þ¤J¤@¨Ç¶Ç²Î·®æªº¸Ë¹¢«~¡AÀHµÛ¾Tµ¡ªáªº¥X²{¡A¨Ï±o¶V¨Ó¶V¦hªº«Ø¿v¨Ï¥Î¾Tµ¡ªá¸Ë¹¢¡A¹³®È¹C°Ï¡B°s©±¡B·|©Ò¡B¡B¼g ¦r¼Ó³o¨Ç³õ©Ò³£¥i¥H¬Ý¨£¾Tµ¡ªáªº¸Ë¹¢®ÄªG¡AÀ¥jªº®ÄªG¤j®ð¡A¤H¬ÝµÛ§ó¥[µÎªA¡C¶V¨Ó¶V¦hªº¤½³õ©Ò¶}©l¨Ï¥Î¾Tµ¡ªá¸Ë¹¢¥~ùÙ¡B¹jÂ_¡B«Ì·¡B¦Q³»¡B¨í¸¨µ¥µ¥³o¨Ç³£¥i¥H©w¨î¾Tµ¡ªá¸Ë¹¢¡A̼t®a±q12¦~¶}©l´N¥Í²£¾Tµ¡ªá¤F¡A¸g¾ú¤F¾Tµ¡ªá»Ý¨D¶qµo¦¡ªº¼Wªø¡A¤]±q ªìÄY®æªº½è¶qn¨D¡AÅܦ¨²{¦bªº²ÊÁW¤uÃÀ¡C¥Dn³£¬O¦]¬°´c©ÊÄvª§¡A©Ò¥H«È¤á¿ï¾Ü¾Tµ¡ªá¼t®a»Ýn²z©Ê¬Ý«Ý¡C
¥»¤å§Q¥Î¦³¤¸³n¥óANSYS,«Ø¥ß¤Tºû¤¤ªÅ§¨ªä´_¦X§÷®Æªºµ²ºc¼Ò«¬,¶i¦æ°¼À£©Ê¯à¬ã¨s¡C§Q¥Î¸Ó¼Ò«¬,±´°Q¤F§÷®Æ¦b1mm°¼À£¦ì²¾¸ü²ü§@¥Î¤U´_¦X§÷®Æ¤¤ÅÖºû¡B¾ð¯×©M§÷®Æ¥»¨ªºÀ³¤O¡BÀ³ÅܤÀ¥¬¡Cµ²ªGªí©ú,¤Tºû¤¤ªÅ§¨ªä´_¦X§÷®Æ¦b°¼À£¸ü²ü§@¥Î¤U,¤W¤U±ªO¤¤¸g¡B½n¯½½u¥æ´³BÀ³¤O,®e©öµo¥Í°¼À£¯}Ãa;ªä§÷À³¤O,¤£®e©öµo¥Í°¼À£¯}Ãa;´_¦X§÷®Æ¦b©Ó¨ü°¼À£¸ü²ü§@¥Î®É,ÅÖºû°_¥Dn©Ó¸ü§@¥Î,¾ð¯×°_¦¸n§@¥Î;§÷®Æªº¯}Ãa¼Ò¦¡¥Dn¬°¾ð¯×¯}µõ¡C
À¥j¾Tµ¡ªá¡A¤£¦Pªº¹Ï®×·f°t¤£¦Pªº¤ì¯¾ÃC¦â§ó¯à®i²{¥XÀ¥j¾Tµ¡ªá¤£¦Pªº¬ü¡C À¥j¾Tµ¡ªá¸g¹L¼öÂà¦L¤ì¯¾©ÎªÌ¤ô¦L¤ì¯¾³B²z«á¡A¤ì¯¾¯¾²z¹G¯u²M´·¡A®ÄªG¦n¡A¤ì¯¾¾Tµ¡ªá³zÅS¥X¤@ºØ¥j¨åªºÃÀ³N®ð®§¡Aµ¹¤H¤@ºØ«Ü·ªº·Pı¡A¦b¥~¨Ó¤å¤Æ¶V¨Ó¶V¦h¤¸¤Æªº¤µ¤Ñ¡A¤ì¯¾ªí±³B²z¹Lªº¾Tµ¡ªá§ó¬O¤@ªÑ²M¬y¡AÅý¤Hı±o¶Ç²Îªº¤å¤Æ¾y¤OÁÙ¬O·½»·¬yªøªº¡C
±Ä¥ÎSEM©MXRµ¥§Þ³N¤â¬q,±´°Q¤F¥Û¦Ç³¯¤Æ¹Lµ{¾÷²z¤Î¨ä¦b¤åª««OÅ@¤¤À³¥Îªº¥i¦æ©Ê.µ²ªGªí©ú,¥Û¦Ç¦b³¯¤Æ¹Lµ{¤¤,ÀHµÛ³¯¤Æ®É¶¡ªº¼W¥[,²B®ñ¤Æ¶tªº²É®|§e²{³vº¥´î¤pªºÁͶÕ,§Î¦¨¤Fª½®|¬ù50nm¡Bªø«×¬ù200nmªº°wª¬²B®ñ¤Æ¶t,¥H¤Î²É®|¬°100¡ã200nmªºªOª¬²B®ñ¤Æ¶t;³¯¤Æ¥Û¦Çªº¯Ç¦Ì²É®|©M°ª¤ÏÀ³¬¡©Ê¸û¦n¦a§ïµ½¤F³¯¤Æ¥Û¦ÇÄz¦Ì¦Ç¼ßªº§ÜÀ£±j«×¡Bªí±µw«×µ¥ª«²z©Ê¯à,¨Ã¨Ï³¯¤Æ¥Û¦Ç-¤A¾J¤À´²²G¨ã¦³¨}¦nªºº¯³z©Ê,¥i¸û¦n¦a¸Ñ¨M¶Ç²Î¥Û¦Ç¤ô¥[©T¾¯·»¸Ñ«×¸û¤p©Mº¯³z©Ê¸û®tªº°ÝÃD,¬°¨ä¦b¿j¡B¥Û¡B¤g½è¤åª««OÅ@¤¤ªºÀ³¥Î³þ©w¬ì¾Ç°ò¦.
À¥j¤ì¯¾¾Tµ¡ªá¡A¨Iäj®ðªºì¤ì¦â±m»P¯¾²z¹B¥Î¡Aª`«©ó·N¹Ò»P¤å¤ÆÅ誺¶Ç©Ó¡Aµ²¦¡ªº¹ïºÙµ¡ªáºc³y¡A¤¤¦¡¶éªL´ºµ¡¯S¦â¡A¥R¤À»â®©¶Ç²Î¤¤¦¡¼f¬ü¡A¤ì¯¾¾Tµ¡ªá²£«~³]p·s¿o®É©|¡A²¬ù¡C¬üÆ[¶®P¡AªY½à»ùÈ°ª¡A¤ì¯¾®ÄªG¹G¯u¡A«D±`±µªñì¥Í¤ì§÷®ÄªG¡A¾ãÅé®ÄªG½u±ø©ú§Ö¾ã»ô¡A¼h¦¸¤À©ú¡A¨ã¦³«¶q»´¡A±j«×°ª¡A¨¾¤ô¡A¨¾¦Ã¡A¨¾¤õ¡A§Ü»k¡A¥[¤u©Ê¯à¦n¡A¨Ï¥Î¹Ø©Rªøµ¥¦hºØÀu¶Õ¡A¦b¤º¤w¸g¦¨¬°²£«~¡C