§A¦n¡AÅwªï¨Ó¨ì¥@¾Tºô [½Ðµn¿ý] [§K¶Oª`¥U]
¥@¾Tºô ¾T·~²£«~
±z·í«eªº¦ì¸m¡G ¥@¾Tºô ¾T·~²£«~ ªí­±³B²z KRi ¤j¤f®|®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380 ´¶³q·|­û

KRi ¤j¤f®|®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380

¥[¤J¦¬Âà Á|³ø
¸Ô²Ó«H®§

®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380

¤j¤f®|®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380
¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ¤j¤f®|®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380, 3¼h¬]·¥³]­p, ¬]·¥¤f®| 38cm, ´£¨ÑÂ÷¤l°Ê¯à 100-1200eV ¼e§ôÂ÷¤l§ô, ¤jÂ÷¤l§ô¬y > 1000mA, º¡¨¬ 300 mm (12­^¤o)´¹¶êÀ³¥Î. ¼sªxÀ³¥Î©óÂ÷¤l§ô¨è»k¾÷.

KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380 ¯S©Ê
1. ©ñ¹qµÄ Discharge Chamber, µL»Ý¹qÂ÷¿Oµ·, ³q¹L®gÀW§Þ³N´£¨Ñ°ª±K«×Â÷¤l, ¤uÃÀ®É¶¡§óªø. 2kW & 1.8 MHz, ®gÀW¦Û°Ê¤Ç°t
2. Â÷¤l·½µ²ºc¼Ò¶ô¤Æ³]­p
3. Â÷¤l¥ú¾Ç, ¦Û¹ï·Ç§Þ³N, ·Çª½¥ú§ô³]­p, ¦Û°Ê½Õ¸`§Þ³N«O»Ù¬]·¥ªº¨Ï¥Î¹Ø©R©M¥i­«´_ªº¤uÃÀ¹B¦æ
4. ¥þ¦Û°Ê±±¨î¾¹
5. Â÷¤l§ô°Ê¯à 100-1200eV
6. ¬]·¥¤f®| 38cm, º¡¨¬ 300 mm (12­^¤o)´¹¶êÀ³¥Î
®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380

®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380 §Þ³N³W®æ:

¶§·¥

¹q·P½¢¦Xµ¥Â÷¤lÅé
2kW & 1.8 MHz
®gÀW¦Û°Ê¤Ç°t

¤j¶§·¥¥\²v

>1kW

¤jÂ÷¤l§ô¬y

> 1000mA

¹qÀ£½d³ò

100-1500V

Â÷¤l§ô°Ê¯à

100-1200eV

®ðÅé

Ar, O2, N2,¨ä¥L

¬y¶q

5-50sccm

À£¤O

< 0.5mTorr

Â÷¤l¥ú¾Ç, ¦Û¹ï·Ç

OptiBeamTM

Â÷¤l§ô¬]·¥

38cm £X

¬]·¥§÷½è

à»

Â÷¤l§ô¬y§Îª¬

¥­¦æ,»EµJ,´²®g

¤¤©M¾¹

LFN 2000

°ª«×

38.1 cm

ª½®|

58.2 cm

Âêºò¦w¸ËªkÄõ

12¡¨CF


®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380 °ò¥»¤Ø¤o:
®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380


¤W®ü§BªF¬ü°ê¦Ò¤Ò°Ò KRI ¤j¤f®|®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 220, RFICP 380 ¦¨¥\À³¥Î©ó 12­^¤o©M 8­^¤oºÏ¦sÀx¾¹¨è»k¾÷, 8­^¤o¶q²£«¬ª÷Äݨè»k¾÷¤¤, ¹ê²{ 8­^¤o IC ¨î³y¤¤ªº Al, W ¨è»k¤uÃÀ, ¾A¥Î©ó IC, ·L¹q¤l,¥ú¹q¤l, MEMS µ¥»â°ì.

§@¬°»k¨è¾÷ªº®Ö¤ß³¡¥ó, KRI  ®gÀWÂ÷¤l·½´£¨Ñ¤j¤Ø¤o, °ª¯à¶q, §C¿@«×ªºÂ÷¤l§ô, ±µ¨ü«È¤á©w¨î, ³æ¦¸¤uÃÀ®É¶¡§óªø, º¡¨¬§÷®Æ¨è»k»Ý¨D!
®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 380

­Y±z»Ý­n¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ KRi ®gÀWÂ÷¤l·½, ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡
¤W®ü§BªF: ù¥ý¥Í


Áp«Y¤è¦¡
  • Áp«Y¤H¡G ¸­«n´¹ ¤k¤h
  • ¹q¸Ü¡G 0755-25473928
  • ¤â¾÷¡G 15201951076
  • ¦a§}¡G ¼sªF¬Ù ²`¦`¥« ù´ò°Ï¹©Âפj·H501
ÁÙ¨S§ä¨ì¦X¾Aªº²£«~¡H