¬Y«~µP Sputtering + E-Beam PVD Áὤ¾÷«Y²Î±Ä¥Î HVA ¯uªÅ»Öªù 11000, HVA ¯uªÅ»Öªù¦w¸Ë¦b¤À¤l¬¦¤f«K©ó¬¦ªºÀË×,¦P®É¥~«Y²Î°±¾÷®É¤£¯}Ãa«Y²Î¯uªÅ, ¥un¹ï¬¦¤º³¡¶i¦æ¯}¯uªÅ§Y¥i.
HVA ¤£ù׿û¯uªÅ¹h»Ö 11000 «Y¦C¼Ð·Ç§Þ³N³W®æ:
»Öªù§÷½è: | |
- »Öªù¥DÅé | 304 ¤£ù׿û |
- ²k±µªi¯¾ºÞ¶b«Ê | AM - 350 |
»Öªù±K«Ê¤è¦¡ | |
- °ª¯uªÅ | ¬t¾ó½¦ |
- ¯uªÅ | »É¹Ô°é / ¬t¾ó½¦ |
¯uªÅ: | |
- À£¤O½d³ò | °ª¯uªÅ 1x10-9 mbar, ¯uªÅ 1x10-10 mbar |
- º|²v | < 2x10-9 mbar l/S |
- ®tÀ£Ãö³¬ | 1 bar ( ¥ô·N¦ì¸m ) |
- ¶}±Ò«e¤jÀ£¤O | 30 mbar |
¯M¯N·Å«×¡]¤£§t¹qºÏ»Ö¡^: | |
- ¼u©ÊÅé±K«Ê»Ö»\ | 150¢XC |
- ª÷ÄݱK«Ê»Ö»\ | -¶}±Ò·Å«×¡G200¢XC -Ãö³¬È¡G150¢XC |
- ÅX°Ê¤è¦¡ | ¤â°Ê 60 ¢Xc, ®ð°Ê 60 ¢Xc |
¾÷¨î | |
¤â°Ê¡G | ¤â·n¦±¬` |
¹qºÏ»Ö¨Ñ¹q¹qÀ£ | 120 VAC 50 /60 Hz |
¹qºÏ»Ö¥i¿ï¹qÀ£ | 24, 200, 240 VAC 50/60 Hz |
¹qºÏ»Ö¦ì¸m«ü¥Ü¾¹,¤j | 115 VAC |
®ð°Ê°e·¡G | 80 psig |
¨Ï¥Î¹Ø©R: 100,000 ±Ò³¬¦¸¼Æ (¨ãÅéµø¹ê»Ú¨Ï¥Î±¡ªp¨M©w) | |
¤½ºÙ³q®|: DN 16 - 800 mm | |
E-Beam Áὤ¾÷³]³Æ²Õ¦¨: «Y²Î¥Dn¥Ñ»]µo«Ç, ¹q¤lºj, ¶i¼Ë«Ç (¥i¿ï) , ±ÛÂà°ò¤ù¥[¼ö»O, ¤u§@®ð¸ô, ©â®ð«Y²Î, ¯uªÅ´ú¶q, ¹q±±«Y²Î¤Î¦w¸Ë¾÷»Oµ¥³¡¤À²Õ¦¨.
°ò¤ù¦b°µ¹êÅç«e¤@¯ë»Ýn°µÁá«e¹w³B²z, Áá«e¹w³B²zªº¥Øªº¬O¬°¤F±o¨ì·FÐä·sÂAªºª÷Äݪí±, ¬°«áÀò±o°ª½è¶qÁá¼h§@·Ç³Æ, n¶i¦æ²æ¯×, ¥hù×»k, ¥h¦Ç¹Ðµ¥¤u§@, ¤]¦³«È¤á¦b LOADLOCK µÄ¶i¦æ®gÀW¤ÏÀ³²M¬~, ³q¹L¨Ï¥Î¤W®ü§BªF KRI Â÷¤l·½±N°ò¤ùªºªí¼h¥´±¼, ±o¨ì§ó¥ú·Æ©M§¡¤Ãªºªí±.
Y±z»Ýn¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ¸Ô²Ó²£«~«H®§©Î°Q½× , ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡ :
¤W®ü§BªF : ù¥ý¥Í »OÆW§BªF : ¤ý¤p©j
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
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M: +86 152-0195-1076 M: +886-939-653-958
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