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HVA¯uªÅ»Öªù¬Oªº¯uªÅ§Þ³N³Ð·sªÌ, HVA¯uªÅ»Öªù¼sªx¹B¥Î©ó¤Ó¶§¯à¹q¦À¦æ. HVA ¯uªÅ»Öªù¤]¬O°ª¯uªÅ»Ö©M¯uªÅ»Öªº¥D­n¨î³y°Ó©M¨ÑÀ³°Ó.

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¸Ó«È¤á°Ñ¦Ò°ê¥~¦PÃþ³]³Æªº¯uªÅ»Öªù¨Ï¥Î±¡ªp, ¬Û¤¤¤F§Ú­ÌHVA¯uªÅ»Öªù. HVA¯uªÅ»Öªù¨ã¦³ªº±K«Ê«Y²Î, ¥iÁקK¯»¹ÐÁû²É¦Ã¬V, ³o¼Ë´N´î¤Ö¤FºûÅ@¦¸¼Æ. ¥~§Î¤Ø¤o¤p, ±Ä¥Î¤F±M§Q§Þ³NªºÅX°Ê«Y²Î,¹B¦æ®É¾_°Ê¤p. «Ü¦nªºº¡¨¬¤F«È¤áªº»Ý¨D.
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¸g¹L©ó²`¤J·¾³q¤F¸Ñ«È¤á»Ý¨D, §BªF¤uµ{®vµ¹«È¤á±ÀÂ˲£«~«¬¸¹HVA 88240, ±NHVA¾T½è¯x§Î¯uªÅ»Öªù¥Î¦b¤F¥L­Ì¦U­Ó¯uªÅ¾÷»OªºLoad-lock¤u¦ì,¥Î©ó2X18­^¤o³W®æ¤ºªºÖº¤ù¥Í²£½u¤W,°_¶Ç»¼Öº¤ùªº§@¥Î.

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HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦Cª½±µÅX°Ê¯x§Î»Ö¬O¯uªÅ»Ö¦æ·~¤¤¤pªº¤ºªí­±¿n¤§¤@. ¦b¥´¶}¦ì¸m, ±K«ÊªOO§Î°é¤£¥i¨£, ¨¾¤î¥ô¦óÁû²É©Î¤¶½è¬y¿n»E¦b±K«Êªí­±¤W. ¦bÃö³¬¦ì¸m, ¾ãÅ馡¶ôª¬³]­p¥i¨¾¤î¥ô¦ó§÷®Æ°ï¿n¦b»Ö¾÷ºcªº­I­±, ±q¦Ó¤j¤j­°§C¤Fºû­×©M«O¾i­n¨D. ¸Ó»Ö¸g¹L±Mªù³]­p, ¥iº¡¨¬¦æ·~¹ï¾÷±ñ±µ¤f©M¯uªÅ®e¾¹ªº­n¨D. ¬°¤Fº¡¨¬¼Ò¶ô¤Æ¶°¦¨³B²z«Y²Îªº¯S©w»Ý¨D, ³o¨Ç»Öªù³]­p¬°¹jÂ÷¼å¤f¨â°¼ªº¯uªÅÀ£¤O. ¯¶«¬³]­p¡]¥]¬A°õ¦æ¾¹©M±±¨î¾¹¡^¤¹³\ºò±K¦w¸Ë¦b¤¤¥¡, ­t¸üÂê©w.

HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦C¼Ð·Ç§Þ³N³W®æ:
1. HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦C¥Î®Æ:
»ÖÅé©M¹hªO¡G304¤£ù׿û
ªi¯¾ºÞ²k±µ¶b«Ê¡GAM-350
¶Ç°Ê¶b©M¾P¡Gµw¤Æ¤£ù׿û
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2. HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦C¯M¯N·Å«×
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¼u©ÊÅé±K«Ê»Ö»\¡G150¢XC
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3. HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦C¦w¸Ë¦ì¸m: ¥ô¦ó
4. HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦CªA°È©P´Á: 1,000,000­Ó©P´Á, ¨ú¨M©ó¹Lµ{
5. HVA ¯uªÅ»Öªù 28200«Y¦C¯uªÅÀ£¤O½d³ò: 1¡Ñ10 -9 mbar
®ó®ðªnº|²v: <2x10 -9 mbar l / s
®tÀ£Ãö³¬: ¥ô¤@¤è¦V§¡¬°1 bar
¥´¶}«e¤j­ÈÀ£¤O: <30 mbar
HVA ¯uªÅ»Öªù¦b°ê¥~¦U­Ó¯uªÅ³]³Æ¼t°Ó¤¤¼sªxÀ³¥Î, ¦pAKTÂ÷¤l«Y²Î, Veeco, Cree µ¥µ¥³]³Æ°Ó.
¤W®ü§BªF¬O HVA ¯uªÅ»Öªù¤¤°ê°ÏªºÁ`¥N²z, ­t³dHVA ¯uªÅ»Öªù¦b¤¤°ê¦a°Ïªº¾P°â¤Î¬ÛÃö§Þ³N¤ä«ù.

§BªF¬O¼w°ê Pfeiffer ¯uªÅ¬¦, À˺|»ö, ½èÃлö, ¯uªÅ­p, ¬ü°ê KRI ¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ¬ü°êHVA ¯uªÅ»Öªù, ¬ü°ê inTEST °ª§C·Å½ÄÀ»´ú¸Õ¾÷, ¬ü°ê Ambrell ·PÀ³¥[¼ö³]³Æ©M¤é¥» NS Â÷¤l»k¨è¾÷µ¥¶i¤f«~µPªº«ü©w¥N²z°Ó.

­Y±z»Ý­n¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ¸Ô²Ó«H®§©Î°Q½×, ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡:

¤W®ü§BªF: ù¥ý¥Í                               »OÆW§BªF: ¤ý¤k¤h
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
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