Â÷¤l·½À³¥Î©ó°ê²£Â÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷

¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½À³¥Î©ó°ê²£Â÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷ IBSD
¤W®ü§BªF«È¤á¬Y°ª®Õ¨Ï¥Î°ê²£«~µPÂ÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷¥Î©óª÷ÄÝÁ¡½¤¨î³Æ, ¤uÃÀ¹Lµ{¤¤, °ê²£Â÷¤l·½Âëµ·¶È¨Ï¥Î 18­Ó¤p®É´N·|¿NÂ_, ¤¤Â_Áὤ¤uÃÀ§ó´«Âëµ·, µLªkº¡¨¬ªø®É¶¡Â÷¤l§ôÂq®gÁὤªº¤uÃÀ­n¨D, ¾É­PÁ¡½¤½è¶q§Cªº±¡ªp. «È¤á»Ý­nÂ÷¤l·½ªºÃ­©w¤u§@®É¶¡¤£§C©ó 48­Ó¤p®É, ¸g¹L§BªF±ÀÂ˲קï¥Î¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100 ´À´«­ì¦³ªº°ê²£Â÷¤l·½, ³æ¦¸¤uÃÀ®É¶¡¥i¥H¹F¨ì¼Æ¦Ê¤p®É, §¹¥þ²Å¦X«È¤áªø®É¶¡Áὤªº¤uÃÀ­n¨D, ºû«ù°ªÃ­©wÂ÷¤l§ôÂq®g¤uÃÀÀò±oÁ¡½¤.

¤W®ü§BªF¯uªÅÂq®gÁὤ¾÷Â÷¤l·½§ï³y¤è®×:
®Ú¾Ú«È¤á 4¤o°ò§÷©M¤uÃÀ±ø¥ó, ±ÀÂË¿ï¥Î®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100, °t¸m¤¤©M¾¹ (LFN) ©M¦Û°Ê±±¨î¾¹, ´À´«°ê²£Â÷¤l·½«á¥i¥Hªø®É¶¡¤u§@( ®Éªø¡Ö100h)¡I
1. ³]³Æ: °ê²£Â÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷ IBSD
2. °ò§÷: 4¤o wafer, ÁáຠTa ³æ¼h«D´¹Á¡½¤
3. ¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100, ®ðÅé¡GAr gas
4. Â÷¤l·½±ø¥ó: Vb max:1200V ( Â÷¤l§ô¹qÀ£ ), Ib max:¡Ö400mA ( Â÷¤l§ô¹q¬y )

¤W®ü§BªF®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100 ¥D­n§Þ³N³W®æ:
¤p¤Ø¤o³]­p¦ý¬O¥i¥H¿é¥X >400 mA Â÷¤l¬y.

1978 ¦~ Dr. Kaufman ³Õ¤h¦b¬ü°ê³Ð¥ß Kaufman & Robinson, Inc ¤½¥q, ¬ãµo¥Í²£¼e§ôÂ÷¤l·½, ®Ú¾Ú³]­p­ì²z¤À¬°¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ÀNº¸Â÷¤l·½©M®gÀWÂ÷¤l·½. ¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¾ú¸g 40 ¦~§ï¨}¤Îµo®i¤w¨ú±o¦h¶µ±M§Q. KRi Â÷¤l·½¼sªx¥Î©óÂ÷¤l²M¬~ PC, Â÷¤l»k¨è IBE, »²§UÁὤ IBAD, Â÷¤lÂq®gÁὤ IBSD ©MÂ÷¤l§ô©ß¥ú¤uÃÀ IBF µ¥»â°ì, ¤W®ü§BªF¬O¬ü°ê KRi¦Ò¤Ò°Ò¤½¥qÂ÷¤l·½¤¤°êÁ`¥N²z.
 

­Y±z»Ý­n¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ¸Ô²Ó²£«~«H®§©Î°Q½× , ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡ :

¤W®ü§BªF : Ã¹¥ý¥Í                               »OÆW§BªF : ¤ý¤p©j
T: +86-21-5046-1322                   T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1490                        F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076                     M: +886-939-653-958
www.hakuto-china.cn                    www.hakuto-vacuum.com.tw

§BªFª©Åv©Ò¦³, Â½«þ¥²¨s!