離子源應用於有機材料熱蒸鍍設備_伯東貿易（深圳）有限公司

KRI 離子源應用於有機材料熱蒸鍍設備 OLED, OPV
有機金屬熱沉積係統是一種熱蒸發的方式, 用於將有機或金屬材料沉積到基板表面上.該過程需要通過控制溫度和沉積速率來實現薄膜的和均勻性. 上海伯東美國 KRI 考夫曼離子源可用於基板清潔和加速材料的蒸發速度, 並且 KRI 離子源在材料沉積過程中可幫助沉積並使沉積後的薄膜更為致密. 有機材料熱沉積係統使用高熱蒸發源作為加熱源, 並使用金屬, 石英, 陶瓷或 PBN 坩堝來容納有機材料以及 PID 控制器來控制其沉積速率. 該係統通常用於有機電子研究領域, 例如 OPV, OLED, OPD...
KRI 離子源應用於有機材料熱蒸鍍設備 OLED, OPV
------ 有機材料熱蒸鍍設備 OLED, OPV -----

上海伯東美國 KRI 射頻離子源 RFICP 係列, 無需燈絲提供高能量, 低濃度的離子束, 通過柵極控制離子束的能量和方向, 單次工藝時間更長! 射頻源 RFICP 係列提供完整的套裝, 套裝包含離子源本體, 電子供應器, 中和器, 自動控制器等. 射頻離子源適合多層膜的制備, 離子濺鍍鍍膜和離子蝕刻, 有效改善靶材的致密性, 光透射, 均勻性, 附著力等.
KRI射頻離子源

射頻離子源 RFICP 係列技術參數:

型號	RFICP 40	RFICP 100	RFICP 140	RFICP 220	RFICP 380
Discharge 陽極	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻	RF 射頻
離子束流	>100 mA	>350 mA	>600 mA	>800 mA	>1500 mA
離子動能	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V	100-1200 V
柵極直徑	4 cm Φ	10 cm Φ	14 cm Φ	20 cm Φ	30 cm Φ
離子束	聚焦, 平行, 散射
流量	3-10 sccm	5-30 sccm	5-30 sccm	10-40 sccm	15-50 sccm
通氣	Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, 其他
典型壓力	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr	< 0.5m Torr
長度	12.7 cm	23.5 cm	24.6 cm	30 cm	39 cm
直徑	13.5 cm	19.1 cm	24.6 cm	41 cm	59 cm
中和器	LFN 2000