¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½À³¥Î©ó°ê²£Â÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷ IBSD
¤W®ü§BªF«È¤á¬Y°ª®Õ¨Ï¥Î°ê²£«~µPÂ÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷¥Î©óª÷ÄÝÁ¡½¤¨î³Æ, ¤uÃÀ¹Lµ{¤¤, °ê²£Â÷¤l·½Âëµ·¶È¨Ï¥Î 18Ó¤p®É´N·|¿NÂ_, ¤¤Â_Áὤ¤uÃÀ§ó´«Âëµ·, µLªkº¡¨¬ªø®É¶¡Â÷¤l§ôÂq®gÁὤªº¤uÃÀn¨D, ¾ÉPÁ¡½¤½è¶q§Cªº±¡ªp. «È¤á»ÝnÂ÷¤l·½ªºÃ©w¤u§@®É¶¡¤£§C©ó 48Ó¤p®É, ¸g¹L§BªF±ÀÂ˲קï¥Î¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100 ´À´«ì¦³ªº°ê²£Â÷¤l·½, ³æ¦¸¤uÃÀ®É¶¡¥i¥H¹F¨ì¼Æ¦Ê¤p®É, §¹¥þ²Å¦X«È¤áªø®É¶¡Áὤªº¤uÃÀn¨D, ºû«ù°ªÃ©wÂ÷¤l§ôÂq®g¤uÃÀÀò±oÁ¡½¤.
¤W®ü§BªF¯uªÅÂq®gÁὤ¾÷Â÷¤l·½§ï³y¤è®×:
®Ú¾Ú«È¤á 4¤o°ò§÷©M¤uÃÀ±ø¥ó, ±ÀÂË¿ï¥Î®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100, °t¸m¤¤©M¾¹ (LFN) ©M¦Û°Ê±±¨î¾¹, ´À´«°ê²£Â÷¤l·½«á¥i¥Hªø®É¶¡¤u§@( ®Éªø¡Ö100h)¡I
1. ³]³Æ: °ê²£Â÷¤l§ôÂq®gÁὤ¾÷ IBSD
2. °ò§÷: 4¤o wafer, ÁáຠTa ³æ¼h«D´¹Á¡½¤
3. ¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100, ®ðÅé¡GAr gas
4. Â÷¤l·½±ø¥ó: Vb max:1200V ( Â÷¤l§ô¹qÀ£ ), Ib max:¡Ö400mA ( Â÷¤l§ô¹q¬y )
¤W®ü§BªF®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 100 ¥Dn§Þ³N³W®æ:
¤p¤Ø¤o³]p¦ý¬O¥i¥H¿é¥X >400 mA Â÷¤l¬y.
®gÀW¥\²v | 600W |
Â÷¤l§ô¹q¬y | > 400mA |
Â÷¤l§ô¹qÀ£ | 100-1200eV |
®ðÅé | Ar, O2, N2,¨ä¥L |
¬y¶q | 5-20 sccm |
¤u§@À£¤O | < 0.5mTorr |
Â÷¤l§ô¬]·¥ | 10cm £X |
¬]·¥§÷½è | à», ¥Û¾¥ |
Â÷¤l§ô¬y§Îª¬ | ¥¦æ,»EµJ,´²®g |
¤¤©M¾¹ | LFN 2000 |
°ª«× | 23.5 cm |
ª½®| | 19.1 cm |
¦w¸ËªkÄõ | 10¡¨CF ©Î ¤º¸m«¬ 1¡¨¤Þ¤JºÝ¤l |
1978 ¦~ Dr. Kaufman ³Õ¤h¦b¬ü°ê³Ð¥ß Kaufman & Robinson, Inc ¤½¥q, ¬ãµo¥Í²£¼e§ôÂ÷¤l·½, ®Ú¾Ú³]pì²z¤À¬°¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ÀNº¸Â÷¤l·½©M®gÀWÂ÷¤l·½. ¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¾ú¸g 40 ¦~§ï¨}¤Îµo®i¤w¨ú±o¦h¶µ±M§Q. KRi Â÷¤l·½¼sªx¥Î©óÂ÷¤l²M¬~ PC, Â÷¤l»k¨è IBE, »²§UÁὤ IBAD, Â÷¤lÂq®gÁὤ IBSD ©MÂ÷¤l§ô©ß¥ú¤uÃÀ IBF µ¥»â°ì, ¤W®ü§BªF¬O¬ü°ê KRi¦Ò¤Ò°Ò¤½¥qÂ÷¤l·½¤¤°êÁ`¥N²z.