§A¦n¡AÅwªï¨Ó¨ì¥@¾Tºô [½Ðµn¿ý] [§K¶Oª`¥U]
¥@¾Tºô ¾T·~²£«~
±z·í«eªº¦ì¸m¡G ¥@¾Tºô ¾T·~²£«~ ªí­±³B²z KRi ®gÀWÂ÷¤l·½Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿nÀ³¥Î ´¶³q·|­û

KRi ®gÀWÂ÷¤l·½Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿nÀ³¥Î

¥[¤J¦¬Âà Á|³ø
¸Ô²Ó«H®§

¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ IBSD Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿nÀ³¥Î
¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ¦Ò¤Ò°Ò«~µP RF ®gÀWÂ÷¤l·½, µL»Ý¿Oµ·´£¨Ñ°ª¯à¶q, §C¿@«×ªº¼e§ôÂ÷¤l§ô, Â÷¤l§ôÅFÀ»Âq®g¥Ø¼Ð, Âq®gªº­ì¤l(¤À¤l)¨I¿n¦bŨ©³¤W§Î¦¨Á¡½¤, IBSD Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿n ©M  IBD Â÷¤l§ô¨I¿n¬O¨ä¨å«¬ªºÀ³¥Î.
KRi Â÷¤l·½


KRi Â÷¤l·½¦b IBSD Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿nÀ³¥Î
³q±`¦w¸Ë¨â­ÓÂ÷¤l·½
¥D­nÂq®g¨I¿n·½©M¤G¦¸¹w²M¼ä / Â÷¤l»²§U·½
¤@¦¸®ð·½¬°´k©Ê®ðÅé, ¤G¦¸®ð·½¬°´k©Ê©Î¤ÏÀ³©Ê®ðÅé
°òªO»·Â÷Âq®g¥Ø¼Ð
¤uÃÀÀ£¤O¦b¤p©ó¡Ñ 10-4 torr
KRi Â÷¤l·½, Â÷¤l§ôÂq®g¨I¿n


Â÷¤l·½¦bÂ÷¤l§ôÂq®g¨I¿n¤uÃÀ¹Lµ{:
Â÷¤l·½¦bÂ÷¤l§ôÂq®g¨I¿n¹Lµ{:
 

¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½Àu¶Õ
´£¨Ñ­P±K, ¥ú·Æ, µL°w¤Õ, ªºÁ¡½¤
»·Â÷µ¥Â÷¤lÅé: §C°ò§÷·Å«×
¤£»Ý­n°¾À£Å¨©³
Âq®g¥ô¦ó§÷®Æ, ¤£»Ý­n®gÀWÂq®g¹q·½
«D±`¾A¥Î©ó´_Âø, ºë±Kªº¦h¼hÁ¡½¤¨î³Æ
²M¼ä, §C¦Ã¬V¤uÃÀ
¨I¿n­ì¤l¬°°íµw, ªºÁ¡½¤«O¯dÂq®g¯à¶q
Â÷¤l¯à¶q, Â÷¤l¹q¬y±K«×ªº±±¨î
Àu¨}ªº¤ÏÀ³¨I¿n¤uÃÀ

®gÀWÂ÷¤l·½

 

¬ü°ê KRi RFICP ®gÀWÂ÷¤l·½§Þ³N°Ñ¼Æ¡G

«¬¸¹

RFICP 40

RFICP 100

RFICP 140

RFICP 220

RFICP 380

Discharge ¶§·¥

RF ®gÀW

RF ®gÀW

RF ®gÀW

RF ®gÀW

RF ®gÀW

Â÷¤l§ô¬y

>100 mA

>350 mA

>600 mA

>800 mA

>1500 mA

Â÷¤l°Ê¯à

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

100-1200 V

¬]·¥ª½®|

4 cm £X

10 cm £X

14 cm £X

20 cm £X

30 cm £X

Â÷¤l§ô

»EµJ, ¥­¦æ, ´²®g


¬y¶q

3-10 sccm

5-30 sccm

5-30 sccm

10-40 sccm

15-50 sccm

³q®ð

Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ¨ä¥L

¨å«¬À£¤O

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

< 0.5m Torr

ªø«×

12.7 cm

23.5 cm

24.6 cm

30 cm

39 cm

ª½®|

13.5 cm

19.1 cm

24.6 cm

41 cm

59 cm

¤¤©M¾¹

LFN 2000

 

¤W®ü§BªF¬ü°ê KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP «Y¦C, µL»Ý¿Oµ·´£¨Ñ°ª¯à¶q, §C¿@«×ªºÂ÷¤l§ô, ³q¹L¬]·¥±±¨îÂ÷¤l§ôªº¯à¶q©M¤è¦V, ³æ¦¸¤uÃÀ®É¶¡§óªø!  ®gÀWÂ÷¤l·½¾A¦X¦h¼h½¤ªº¨î³Æ, Â÷¤lÂqÁáÁὤ©MÂ÷¤l»k¨è, §ïµ½¹v§÷ªº­P±K©Ê, ¥ú³z®g, §¡¤Ã©Ê, ªþµÛ¤Oµ¥. ¤W®ü§BªF¬O¬ü°ê KRi Â÷¤l·½¤¤°êÁ`¥N²z.

¤W®ü§BªF¦P®É´£¨ÑÂq®g¨I¿n«Y²Î©Ò»Ýªº´õ½ü¤À¤l¬¦, ¯uªÅ³W, °ª¯uªÅ´¡ªO»Öµ¥²£«~, ¨ó§U«È¤á¥Í²£¬ãµo°ª½è¶qªº¯uªÅ«Y²Î.

1978 ¦~ Dr. Kaufman ³Õ¤h¦b¬ü°ê³Ð¥ß Kaufman & Robinson, Inc ¤½¥q, ¬ãµo¥Í²£¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ÀNº¸Â÷¤l·½©M®gÀWÂ÷¤l·½. ¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¾ú¸g 40 ¦~§ï¨}¤Îµo®i¤w¨ú±o¦h¶µ±M§Q. Â÷¤l·½¼sªx¥Î©óÂ÷¤l²M¬~ PC, Â÷¤l»k¨è IBE, »²§UÁὤ IBAD, Â÷¤lÂq®gÁὤ IBSD »â°ì.


Áp«Y¤è¦¡
  • Áp«Y¤H¡G ¸­«n´¹ ¤k¤h
  • ¹q¸Ü¡G 0755-25473928
  • ¤â¾÷¡G 15201951076
  • ¦a§}¡G ¼sªF¬Ù ²`¦`¥« ù´ò°Ï¹©Âפj·H501
ÁÙ¨S§ä¨ì¦X¾Aªº²£«~¡H