¶³«n¬Y¹êÅç«Ç±Ä¥Î§BªF KRI ¦Ò¤Ò°Ò®gÀWÂ÷¤l·½ RFCIP220 ®gÀWºÏ±±Âq®g¨I¿n¤èªk¦b¤£¦P·Å«×ªº Si¡]100¡^Ũ©³©M¥Û^Ũ©³¤W¨î³Æ¤F´IÖº SiNx Á¡½¤, ¥Î©ó¬ã¨sÖº¶q¤lÂI SiN Á¡½¤ªº¥úÃЯS©Ê. ¸Ó¹êÅç¥Øªº¬OÀu¤Æ§tÖº¶q¤lÂIªº SiNx Á¡½¤ªº¨î³Æ°Ñ¼Æ, ¦bÖº°ò¥ú¹q¤l¾¹¥óªºÀ³¥Î¤è±¦³«n·N¸q.
§BªF KRI ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP220 §Þ³N°Ñ¼Æ:
Â÷¤l·½«¬¸¹ | RFICP220 |
Discharge | RFICP ®gÀW |
Â÷¤l§ô¬y | >800 mA |
Â÷¤l°Ê¯à | 100-1200 V |
¬]·¥ª½®| | 20 cm £X |
Â÷¤l§ô | »EµJ, ¥¦æ, ´²®g |
¬y¶q | 10-40 sccm |
³q®ð | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ¨ä¥L |
¨å«¬À£¤O | < 0.5m Torr |
ªø«× | 30 cm |
ª½®| | 41 cm |
¤¤©M¾¹ | LFN 2000 |
* ¥i¿ï: ¿Oµ·¤¤©M¾¹; ¥iÅܪø«×ªº¼W¶q
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Y±z»Ýn¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ¸Ô²Ó«H®§©Î°Q½×, ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡:
¤W®ü§BªF: ù¥ý¥Í »OÆW§BªF: ¤ý¤k¤h
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§BªFª©Åv©Ò¦³, ½«þ¥²¨s!