¬ü°ê KRi ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400
¤W®ü§BªF¥N²z¬ü°êì¸Ë¶i¤f KRi ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400 §C¦¨¥»³]p´£¨Ñ°ªÂ÷¤l¹q¬y > 750 mA, ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400 ¤Ø¤o©MÂ÷¤l¯à¶q¯S§O¾A¦X¤¤¤p«¬ªº¯uªÅ«Y²Î, ¥i¥H±±¨î¸û§CªºÂ÷¤l¯à¶q, ³q±`À³¥Î©óÂ÷¤l»²§UÁὤ, ¹w²M¬~©M§C¯à¶qÂ÷¤l»k¨è.
KRi ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400 ¯S©Ê
°ªÂ÷¤l§ô¹q¬yº¡¨¬¨I¿n²vªºÁ{¬É¨ì¹F¤ñ
§CÂ÷¤l¯à¶q³q¹LÁקK°ª¯àÂ÷¤l¹ïªí±©M¬É±ªºÅFÀ»·l¶Ë¦Ó¨Ï²£¶q§ó¤j¤Æ
¼e§ô, µo´²Â÷¤l§ô³q¹L§¡¤Ã¦aÂл\¨I¿n°Ï±q¦Ó¼W¥[¨C¦¸¥[¤u¹s¥ó¼Æ¶q¨Ó´£°ª§]¦R¶q
°í©Tªº¼Ò¶ô¤Æµ²ºc°§C¤F³Æ¥ó¯Ó§÷©MºûÅ@®É¶¡, ´î¤ÖºûÅ@¦¨¥»©M°±¾÷®É¶¡
µL¬]ºô, ºò´ê³]p, ¤è«K¥[¸Ë, ´£¨ÑÂ÷¤l»²§U¥\¯à
KRi ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400 §Þ³N°Ñ¼Æ:
«¬¸¹ | eH 400 |
¶§·¥ | DC |
¶§·¥¹q¬y(¤j) | 5A |
Â÷¤l§ô¬y(¤j) | >750mA |
¶§·¥¹qÀ£½d³ò | 40-300V |
Â÷¤l¯à¶q½d³ò | 25-300eV |
¶§·¥¥\²v(¤j) | 500W (¿ç®g§N«o) |
®ðÅé | ´k©Ê®ðÅé©M¤ÏÀ³®ðÅé |
®ðÅé¬y¶q | 3-30 sccm |
À£¤O | < 1 x 10-3 Torr |
Â÷¤l§ô¬yª½®| | 4cm £X |
Â÷¤l§ôµo´²¨¤«× | > 45¢X (hwhm) |
³±·¥¤¤©M¾¹ | ¨I®û¦¡©Î«D¨I®û¦¡ |
°ª«× | 3.0¡¨ (7.62cm) |
ª½®| | 3.7¡¨ (9.4cm) |
KRi ÀNº¸Â÷¤l·½ eH 400 À³¥Î»â°ì:
¹q¤l§ô»]µo, ºÏ±±Âq®g¤¤ªº IBAD »²§UÁὤ
¨I¿n«eªº¹w²M¼ä
Ãþª÷è¥ÛºÒÒ\¼h
§C¯àÂ÷¤l§ô»k¨è
Â÷¤l§ôÂq®g
KRi ÀNº¸Â÷¤l·½»²§UÁὤ IBAD ¨å«¬®×¨Ò:
³]³Æ: ¬ü°ê¶i¤f e-beam ¹q¤l§ô»]µo«Y²Î
Â÷¤l·½«¬¸¹: EH 400
À³¥Î: IBAD »²§UÁὤ, ³q¹L¦V¥ÍªøªºÁ¡½¤¤¤²K¥[¯à¶q¨Ó¼W±j¤À¤l°Ê¤O¾Ç, ¥H¼W¥[ªí±©Mì¤l / ¤À¤lªº¬y°Ê©Ê, ±q¦Ó¾ÉPÁ¡½¤ªºP±K¤Æ©Î³q¹L¦V¥ÍªøÁ¡½¤¤¤²K¥[¬¡©ÊÂ÷¤l¨Ó¼W±jÁ¡½¤¤Æ¦Xª«ªº¤Æ¾ÇÂà¤Æ, ±q¦Ó±o¨ì¤Æ¾Çp¶q§¹¾ã§÷®Æ.
Â÷¤l·½¹ï¤uÃÀ¹Lµ{ªºÀu¤Æ: µL»Ý¥[¼öŨ©³, ¹ï·Å«×±Ó·P§÷®Æ¶i¦æ§C·Å³B²z, ²¤Æ¤ÏÀ³¨I¿n.
1978 ¦~ Dr. Kaufman ³Õ¤h¦b¬ü°ê³Ð¥ß Kaufman & Robinson, Inc ¤½¥q, ¬ãµo¥Í²£¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ÀNº¸Â÷¤l·½©M®gÀWÂ÷¤l·½. ¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¾ú¸g 40 ¦~§ï¨}¤Îµo®i¤w¨ú±o¦h¶µ±M§Q. Â÷¤l·½¼sªx¥Î©óÂ÷¤l²M¬~ PC, Â÷¤l»k¨è IBE, »²§UÁὤ IBAD, Â÷¤lÂq®gÁὤ IBSD »â°ì, ¤W®ü§BªF¬O¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¤¤°êÁ`¥N²z.
Y±z»Ýn¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ KRi ÀNº¸Â÷¤l·½, ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡
¤W®ü§BªF: ù¤p©j »OÆW§BªF: ¤ý¤p©j
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076( ·L«H¦P¸¹ ) M: +886-975-571-910
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
¤W®ü§BªFª©Åv©Ò¦³, ½«þ¥²¨s¡I