
KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 40
¤W®ü§BªF¥N²z¬ü°êì¸Ë¶i¤f KRI ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 40 : ¥Ø«e KRI ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP «Y¦C¤Ø¤o¤p, §C¦¨¥»Â÷¤l·½. ¾A¥Î©ó¶°¦¨¦b¤p«¬ªº¯uªÅµÄÅ餺. Â÷¤l·½ RFICP 40 ³]p±Ä¥Î³Ð·sªº¬]·¥§Þ³N¥Î©ó¬ãµo©M¶}µoÀ³¥Î. Â÷¤l·½ RFICP 40 µL»Ý¹qÂ÷¿Oµ·³]p, ¾A¥Î©ó³q®ð®ðÅé¬O¬¡©Ê®ðÅé®Éªº¤u·~À³¥Î. ¼Ð·Ç°t¸m¤U RFICP 40 Â÷¤l¯à¶q½d³ò 100 ¦Ü 1200ev, Â÷¤l¹q¬y¥i¥H¶W¹L 120 mA.
®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 40 ¯S©Ê:
1. Â÷¤l·½©ñ¹qµÄ Discharge Chamber, µL»Ý¹qÂ÷¿Oµ·, ³q¹L®gÀW§Þ³N´£¨Ñ°ª±K«×Â÷¤l, ¤uÃÀ®É¶¡§óªø.
2. Â÷¤l·½µ²ºc¼Ò¶ô¤Æ³]p, ¨Ï¥Î§ó²³æ; °ò®y¥i½Õ¸`, Àu¤Æ»k¨è²v©M§¡¤Ã©Ê.
3. ´£¨Ñ»EµJ, µo´², ¥¦æªºÂ÷¤l§ô
4. Â÷¤l·½¦Û°Ê½Õ¸`§Þ³N«O»Ù¬]·¥ªº¨Ï¥Î¹Ø©R©M¥i«´_ªº¤uÃÀ¹B¦æ
5. ¬]·¥§÷½è໩M¥Û¾¥,°í©T
6. Â÷¤l·½¤¤©M¾¹ Neutralizer, ´ú¶q©M±±¨î¹q¤lµo®g,½T«O¹q²ü¤¤©Ê
KRI ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 40 §Þ³N°Ñ¼Æ:
«¬¸¹ | RFICP 40 |
Discharge ¶§·¥ | RF ®gÀW |
Â÷¤l§ô¬y | >100 mA |
Â÷¤l°Ê¯à | 100-1200 V |
¬]·¥ª½®| | 4 cm £X |
Â÷¤l§ô | »EµJ, ¥¦æ, ´²®g |
¬y¶q | 3-10 sccm |
³q®ð | Ar, Kr, Xe, O2, N2, H2, ¨ä¥L |
¨å«¬À£¤O | < 0.5m Torr |
ªø«× | 12.7 cm |
ª½®| | 13.5 cm |
¤¤©M¾¹ | LFN 2000 |
KRi ®gÀWÂ÷¤l·½¨å«¬À³¥Î¡G
¹w²M¬~ PC
ªí±§ï©Ê
»²§UÁὤ (¥ú¾ÇÁὤ ) IBAD
ÂqÁá©M»]µoÁὤ PC
Â÷¤lÂq®g¨I¿n©M¦h¼hµ²ºc IBSD
Â÷¤l»k¨è IBE
KRi ®gÀWÂ÷¤l·½ RFICP 40 «È¤á®×¨Ò¡G
¦w¸Ë©ó e-beam ¹q¤l§ô»]µo«Y²Î, ¶i¦æ IBAD »²§UÁὤ (¬Á¼þ¤WÁá¤Ï®gÒ\¼h).
1978 ¦~ Dr. Kaufman ³Õ¤h¦b¬ü°ê³Ð¥ß Kaufman & Robinson, Inc ¤½¥q, ¬ãµo¥Í²£¼e§ôÂ÷¤l·½, ®Ú¾Ú³]pì²z¤À¬°¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½, ÀNº¸Â÷¤l·½©M®gÀWÂ÷¤l·½. ¬ü°ê¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¾ú¸g 40 ¦~§ï¨}¤Îµo®i¤w¨ú±o¦h¶µ±M§Q. Â÷¤l·½¼sªx¥Î©óÂ÷¤l²M¬~ PC, Â÷¤l»k¨è IBE, »²§UÁὤ IBAD, Â÷¤lÂq®gÁὤ IBSD »â°ì, ¤W®ü§BªF¬O¬ü°ê KRi ¦Ò¤Ò°ÒÂ÷¤l·½¤¤°êÁ`¥N²z.
Y±z»Ýn¶i¤@¨Bªº¤F¸Ñ KRi ÀNº¸Â÷¤l·½, ½Ð°Ñ¦Ò¥H¤UÁpµ¸¤è¦¡
¤W®ü§BªF: ù¤p©j »OÆW§BªF: ¤ý¤p©j
T: +86-21-5046-3511 ext 108 T: +886-3-567-9508 ext 161
F: +86-21-5046-1322 F: +886-3-567-0049
M: +86 152-0195-1076( ·L«H¦P¸¹ ) M: +886-975-571-910
www.hakuto-china.cn www.hakuto-vacuum.com.tw
¤W®ü§BªFª©Åv©Ò¦³, ½«þ¥²¨s¡I