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Setra 的730 型是一款的電容式壓力計(亦稱電容

式膜片真空計 (CDG)),適合在光伏、半導體和工業市場

中測量對過程控制至關重要的低真空範圍。該產品讀數精

度達±0.5%,分辨率高,優於同類產品。730 型使用全

InconelTM 接液材料,可承受半導體加工過程中的腐蝕性介

質。由於採用直接測量設計,它能測量介質,不受應

用中氣體混合物成分的影響。

適合苛刻應用的產品

採用單膜片可變電容感應元件,適用於苛刻的半導體和工

業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態範圍寬的

特點,使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。

Inconel? 設計保證通用性

所有接液部件均採用InconelTM 材料, 因此對半導體

和工業真空過程中的腐蝕性介質具有的耐受性。

InconelTM 材料結合全焊接結構, 確保730 型在這類

應用中的長使用壽命。

直接壓力測量

內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業

電容式壓力計不同,730 型測量直接壓力, 不受被測

混合氣的影響,這使其精度優於間接測量型壓力計


特性

·:±0.5% 讀數

·張緊的膜片保證優異的性能

·工作溫度補償範圍寬

·回路噪聲低,響應快

·不易受環境條件變化影響

·出色的抗過壓設計

·符合CE 和RoHS 規範

聯係方式
  • 聯係人: 羅經理 先生
  • 職位: 經理
  • 電話: 0592-6053368
  • 手機: 18060988508
  • 址: 福建省 廈門市 廈門思明區嘉禾路196號611室
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