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Setra 室內壓差監視器 SRPM-R25WB-A1-E
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Setra 的730 型是一款的電容式壓力計（亦稱電容
式膜片真空計 (CDG)），適合在光伏、半導體和工業市場
中測量對過程控制至關重要的低真空範圍。該產品讀數精
度達±0.5%，分辨率高，優於同類產品。730 型使用全
InconelTM 接液材料，可承受半導體加工過程中的腐蝕性介
質。由於採用直接測量設計，它能測量介質，不受應
用中氣體混合物成分的影響。
適合苛刻應用的產品
採用單膜片可變電容感應元件，適用於苛刻的半導體和工
業真空應用。它具有讀數精度和分辨率高、動態範圍寬的
特點，使之成為關鍵制造過程中的理想選擇。
Inconel? 設計保證通用性
所有接液部件均採用InconelTM 材料， 因此對半導體
和工業真空過程中的腐蝕性介質具有的耐受性。
InconelTM 材料結合全焊接結構， 確保730 型在這類
應用中的長使用壽命。
直接壓力測量
內置膜片可在使用點直接測量壓力變化。與其他工業
電容式壓力計不同，730 型測量直接壓力， 不受被測
混合氣的影響，這使其精度優於間接測量型壓力計
特性
·：±0.5% 讀數
·張緊的膜片保證優異的性能
·工作溫度補償範圍寬
·回路噪聲低，響應快
·不易受環境條件變化影響
·出色的抗過壓設計
·符合CE 和RoHS 規範
豫公安備 41010502000017號