4022.470.08897
4022.470.08897
是阿斯麥係統中的一項關鍵性能指標,具體指向:
1.
命名規則解析
○
4022:代表光刻機型號係列(例如,可能對應EUV極紫外光刻技術的機型);
○
470:細分模塊代碼,關聯光學係統的校準精度;
○
08897:特定版本迭代號,反映2023年後的技術優化批次。
4022.470.08897
KLD-MRT12-TA
3RT2026-2XF40-0LA2
BK1120-0000
G2E140-PI51-09
W2E250-HL06-21
PC00613A
PC00416C
TTH300-E1
6SL3420-2TE11-7AA1
1769-IF8
FRN2.2E1S-4C
X20AI4622
X20DO8332
8AC120.60-1
8V1022.00-2
SGMPH-04ABA-SF22
HW0389174-A
6SL3210-1KE22-6AF1
6SL3210-1KE17-5AF1
6SL3210-1KE13-2AF2
6SL3210-1KE21-3AF1
6SL3210-1KE14-3AF2
A20B-8002-0020/05B
6ES7334-0KE00-0AB0
ACS310-03E-25A4-4
6ES7155-6AU01-0CN0
6ES5728-8MA11
KL4428
SASC-P4-A-M8-A
AMAT 0190-76050
6SL3211-0KB12-5UA1
SB4-OR-4CP
LDZ14501002.200
PCS-10TVD-102
305 D3-05B-1
PA3WF16AF1M24
AMAT 0100-02735
AMAT 0100-00793
1762-OB8
LT3SA00M
3HAC062340-004
AO845A
6SL3224-0BE23-0UA0
6ES5956-0AA12
2097-V34PR5-LM
VT-VSPA2-50-1X/T5/BOSCH
90P18X6D1C4D
1756-IF8IH
8I74T400150.010-1
AB9006-B
INFI90
3HAC050363-001
3HAC14178-1
PE1315A
REF542PLUS
150-F251NBD
22C-D017N103
2080-LC30-48QWB
IC200BEM003
IC200PWR002