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4022.470.08897

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4022.470.08897

4022.470.08897

是阿斯麥係統中的一項關鍵性能指標,具體指向:

1. 

命名規則解析

○ 

4022:代表光刻機型號係列(例如,可能對應EUV極紫外光刻技術的機型);

○ 

470:細分模塊代碼,關聯光學係統的校準精度;

○ 

08897:特定版本迭代號,反映2023年後的技術優化批次。

4022.470.08897


KLD-MRT12-TA

3RT2026-2XF40-0LA2

BK1120-0000

G2E140-PI51-09

W2E250-HL06-21

PC00613A

PC00416C

TTH300-E1

6SL3420-2TE11-7AA1

1769-IF8

FRN2.2E1S-4C

X20AI4622

X20DO8332

8AC120.60-1

8V1022.00-2

SGMPH-04ABA-SF22

HW0389174-A

6SL3210-1KE22-6AF1

6SL3210-1KE17-5AF1

6SL3210-1KE13-2AF2

6SL3210-1KE21-3AF1

6SL3210-1KE14-3AF2

A20B-8002-0020/05B

6ES7334-0KE00-0AB0

ACS310-03E-25A4-4

6ES7155-6AU01-0CN0

6ES5728-8MA11

KL4428

SASC-P4-A-M8-A

AMAT 0190-76050

6SL3211-0KB12-5UA1

SB4-OR-4CP

LDZ14501002.200

PCS-10TVD-102

305 D3-05B-1

PA3WF16AF1M24

AMAT 0100-02735

AMAT 0100-00793

1762-OB8

LT3SA00M

3HAC062340-004

AO845A

6SL3224-0BE23-0UA0

6ES5956-0AA12

2097-V34PR5-LM

VT-VSPA2-50-1X/T5/BOSCH

90P18X6D1C4D

1756-IF8IH

8I74T400150.010-1

AB9006-B

INFI90

3HAC050363-001

3HAC14178-1

PE1315A

REF542PLUS

150-F251NBD

22C-D017N103

2080-LC30-48QWB

IC200BEM003

IC200PWR002


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