¤@¡B¤u§@ì²z
ÅÜÀ£§lªþªk¡]²ºÙPSA¡^¬O¤@ºØ·sªº®ðÅé¤ÀÂ÷§Þ³N¡A¨äì²z¬O§Q¥Î¤À¤l¿z¹ï¤£¦P®ðÅé¤À¤l“§lªþ”©Ê¯àªº®t²§¦Ó±N®ðÅé²V¦Xª«¤À¶}¡C¥¦¬O¥HªÅ®ð¬°ì§÷®Æ¡A§Q¥Î¤@ ºØ¯à¡B°ª¿ï¾Üªº©TÅé§lªþ¾¯¹ï´á©M®ñªº¿ï¾Ü©Ê§lªþªº©Ê¯à§âªÅ®ð¤¤ªº´á©M®ñ¤ÀÂ÷¥X¨Ó¡CºÒ¤À¤l¿z¹ï´á©M®ñªº¤ÀÂ÷§@¥Î¥Dn¬O°ò©ó³o¨âºØ®ðÅé¦bºÒ¤À¤l¿zªí±ªºÂX ´²³t²v¤£¦P¡A¸û¤pª½®|ªº®ðÅé¡]®ñ®ð¡^ÂX´²¸û§Ö¡A¸û¦h¶i¤J¤À¤l¿z©T¬Û¡C³o¼Ë®ð¬Û¤¤´N¥i¥H±o¨ì´áªº´I¶°¦¨¤À¡C¤@¬q®É¶¡«á¡A¤À¤l¿z¹ï®ñªº§lªþ¹F¨ì¥¿Å¡A®Ú¾ÚºÒ¤À ¤l¿z¦b¤£¦PÀ£¤O¤U¹ï§lªþ®ðÅ骺§lªþ¶q¤£¦Pªº¯S©Ê¡A°§CÀ£¤O¨ÏºÒ¤À¤l¿z¸Ñ°£¹ï®ñªº§lªþ¡A³o¤@¹Lµ{ºÙ¬°¦A¥Í¡CÅÜÀ£§lªþªk³q±`¨Ï¥Î¨â¶ð¨ÃÁp¡A¥æ´À¶i¦æ¥[À£§lªþ©M ¸ÑÀ£¦A¥Í¡A±q¦ÓÀò±o³sÄòªº´á®ð¬y¡C
¤G¡B¤uÃÀ¬yµ{
ì®ÆªÅ®ð¸gªÅÀ£¾÷À£ÁY«á¶i¤J«á¯ÅªÅ®ðÀxÅø¡A¤j³¡¤Àªo¡B²GºA¤ô¡B¦Ç¹ÐªþµÛ©ó®e¾¹¾À«á¬y¨ìÅø©³¨Ã©w´Á±q±Æ¦Ã»Ö±Æ¥X¡A¤@³¡¤ÀÀH®ð¬y¶i¤J¨ìÀ£ÁYªÅ®ðÐ䤯«Y²Î¡C
ªÅ®ðÐ䤯«Y²Î¥Ñ§N·F¾÷¤Î¤T¤äºë«×¤£¦Pªº¹LÂo¾¹¤Î¤@¤ä°£ªo¾¹²Õ¦¨¡A³q¹L§Ná°£Àã¥H¤Î¹LÂo¾¹¥Ñ²Ê¨ìºë¦a±NÀ£ÁYªÅ®ð¤¤ªº²GºA¤ô¡Bªo¡B¤Î¹Ð®J¹LÂo·FÐä¡A¨ÏÀ£ÁYªÅ®ðÀ£¤OÅSÂI°¨ì2¡ã10¢J¡A§tªo¶q°¦Ü0.001PPm¡A¹Ð®J¹LÂo¨ì0.01μm¡A«OÃÒ¤F¶i¤JPSA¨î´á¾÷ì®Æ®ðªº¼äÐä¡C
Ð䤯«áªºªÅ®ð¸g¹L¨â¸ô¤À§O¶i¤J¨âÓ§lªþ¶ð,³q¹L¨î´á¾÷¤W®ð°Ê»Öªùªº¦Û°Ê¤Á´«¶i¦æ¥æ´À§lªþ»P¸Ñ§l¡A³oÓ¹Lµ{±NªÅ®ð¤¤ªº¤j³¡¤À´á»P¤Ö³¡¤À®ñ¶i¦æ¤ÀÂ÷¡A¨Ã±N´I®ñªÅ®ð±ÆªÅ¡C´á®ð¦b¶ð³»´I¶°¥ÑºÞ¸ô¿é°e¨ì«á¯Å´á®ðÀxÅø¡A¨Ã¸g¬y¶qp«á¶i¤J¥Î®ðÂI¡C
¤T¡B§Þ³N¯SÂI
1¡Bì®ÆªÅ®ð¨ú¦Û¦ÛµM¡A¥u»Ý´£¨ÑÀ£ÁYªÅ®ð©M¹q·½§Y¥i¨î´á®ð¡C³]³Æ¯à¯Ó§C¡A¹B¦æ¦¨¥»¶O¥Î¤Ö¡C
2¡B´á®ð¯Â«×½Õ¾ã¤è«K¡A´á®ð¯Â«×¥u¨ü´á®ð±Æ®ð¶qªº¼vÅT¡A´¶³q¨î´á¯Â«×¦b95%¡Ð99.99%¤§¶¡¥ô·N½Õ¸`¡F°ª¯Â«×¨î´á¾÷¥i¦b99%¡Ð99.999%¤§¶¡¥ô·N½Õ¸`¡C
3¡B³]³Æ¦Û°Ê¤Æµ{«×°ª¡A²£®ð§Ö¡A¥iµL¤HȦu¡C±Ò°Ê¡BÃö¾÷¥u»Ý«ö¤@¤U«ö¶s¡A¶}¾÷10~15¤ÀÄÁ¤º§Y¥i²£´á®ð¡C
4¡B³]³Æ¤uÃÀ¬yµ{²³æ¡A³]³Æµ²ºc¥~§Î¤p¡A¦û¦a±¿n¤Ö¡A³]³Æ¸Ë¸m¾AÀ³©Ê±j¡C
5¡B¯S®í®ð¬ûÀ£ºò¸Ë¸m¡AÁ×§K°ªÀ£®ð¬y½ÄÀ»¾ÉP¤À¤l¿z¯»¤Æ²{¶H¡A¦æµ{¶W®É¦Û°ÊÁn¥ú³øÄµ¡C
6¡B¼ÆÅã¬y¶qp±aÀ£¤O¸ÉÀv¡B°ªºë«×ªº¤u·~¹Lµ{ºÊ±±¤G¦¸»öªí¡A¨ã¦³Àþ®É¬y¶q¤Î²Ö¿npºâªº¥\¯à¡C¡]¥i¿ï°t¡^
7¡B¶i¤f¤ÀªR»ö¦b½uÀË´ú¡A°ªºë«×¡A§KºûÅ@¡C¡]¥i¿ï°t¡^
¥|¡B²£«~Àu¶Õ
¸g¹L¦h¦~ªº¬ãµo¡B¸ÕÅç»PÀ³¥Î¡A§Ú̦bPSA¨î´á»â°ì¾Ö¦³¦h¶µªº§Þ³NÀu¶Õ¡G
¼Ð·Ç¥\¯à°t¸m¡G
1¡B¤À¤l¿z§É¼h¤@¦¸À£ºò³øÄµ¡B¤G¦¸À£ºò¦ÛÂê¥\¯à¡F
2¡B§Ö³t±Ò°Ê——§N/¼ö±Ò°Ê¥\¯à¡F
3¡B¦U¶µ°Ñ¼Æ¦b½uÅã¥Ü¡A¼Æ¾ÚºÝ¤f¹w¯d¡F
4¡B¦h¥\¯àºî¦X³øÄµ¡]¯Â«×¡BÀ£¤Oµ¥¡^¡F
5¡B¤£¦X®æ²£«~¤ÁÂ_/±ÆªÅ¡]¥Î¤á«ü©w¡^¡F
6¡B«æ°±±±¨î¡C
´¼¯à±±¨î°t¸m¡G
1¡B¼Ð·Ç¥\¯à°t¸mªº¥þ³¡¦U¶µ¥\¯à¡F
2¡BPC¥\¯à——°ò©óWindowsªº¾Þ§@¥»O¤¤¡A¥i¹ê²{°ò¥»PC¾Þ§@¡F
3¡BIJºN«Ì°ÊºAÅã¥Ü»PÀx¦s¡F
4¡B¼ÒÀÀµL¯È°O¿ý»ö¡F
5¡B¤T¯Å±K½X«OÅ@¡]¾Þ§@¯Å/¥DºÞ¯Å/¸g²z¯Å¡^¡A¨¾¤î»~¾Þ§@¡F
6¡B¹B¦æ°Ñ¼Æ¦b½u½Õ¾ã¡F
7¡Bºû׫O¾i¤T¯Å´£¥Ü——¹w§i/´£¥Ü/«OÅ@©Ê¦ÛÂê¡F
8¡B»öªí®Õ·Ç´£¥Ü¡F
9¡B¼Æ¾Ú¶°¤¤¼Æ¦rÅã¥Ü»P»·¶Ç¿é°e(¼e±a/¼·¸¹) ¡F
10¡B«Y²Î¥\¯à¦b½u¤É¯Å¡F
11¡B»PDCS«Y²Î¤è«K¹ï±µ¡C
¸`¯à±±¨î°t¸m¡G
1¡B´¼¯à±±¨î°t¸mªº¥þ³¡¦U¶µ¥\¯à¡F
2¡B¦Û°Ê«Ì½ª¥\¯à¡A¦³®Ä¨¾¤î¥~¬ÉÀô¹Ò¹ï±±¨î«Y²Îªº·FÂZ¡F
3¡BPDC¥\¯à¡]Pressure-Difference Control¡^——À£®t¦¡¸`¯à±±¨î¥\¯à¡F
4¡BVFC¥\¯à¡]Variant Frequency Control¡^——ÅÜÀW¦¡¸`¯à±±¨î¥\¯à¡C
éw±±¨î°t¸m¡G
1¡B¸`¯à±±¨î°t¸mªº¥þ³¡¦U¶µ¥\¯à¡F
2¡BPID¿é¥X¥\¯à¡]Proportion Integral Differential¡^——éw¯Â«×¤Î¬y¶q¥\¯à¡C
¤¡BÀ³¥Î½d³ò
¤@¡DSMT¦æ·~À³¥Î
¥R´á¦^¬y²k¤Îªi®p²k¡A¥Î´á®ð¥i¦³®Ä§í¤î²k¿üªº®ñ¤Æ,´£°ª²k±µ¼íÀã©Ê¡A¥[§Ö¼íÀã³t«×´î¤Ö¿ü²yªº²£¥Í¡AÁ×§K¾ô±µ¡A´î¤Ö²k±µ¯Ê³´¡A±o¨ì¸û¦nªº²k±µ½è¶q¡C¨Ï¥Î´á®ð ¯Â«×¤j©ó99.99©Î99.9%¡CWeiton»P°ê¤º¥~¤j³¡¤À¥R´á¦^¬y²k¤Îªi®p²k³]³Æ¼t®a¦X§@¡A¤w¬°²³¦hSMT¹q¤l¼t®a°t®M¤F¼Æ¦Ê®M°ª©Ê»ù¤ñªºÅÜÀ£§l ªþ¨î´á¾÷¡A¦bSMT¦æ·~¾Ö¦³Ãe¤jªº«È¤á¸s¡ASMT¦æ·~¦û¦³²v¹F90%¥H¤W¡C
¤G¡D¥b¾ÉÅéÖº¦æ·~À³¥Î
¥b¾ÉÅé©M¶°¦¨¹q¸ô¨î³y¹Lµ{ªº®ðª^«OÅ@¡A²M¬~¡A¤Æ¾Ç«~¦^¦¬µ¥¡CWeiton¨î³y¤Fº¨Ò¥Î©ó¥b¾ÉÅéÖº¦æ·~ªºÅÜÀ£§lªþ¨î´á¾÷¡A¦¨¥\ªº¨ú¥N¤F²G´á¡A¸Ó«Y²Î¦b»´ä¤wµL¶¡·²¹B¦æªñ¨â¦~¡C
¤T¡D¥b¾ÉÅé«Ê¸Ë¦æ·~À³¥Î
¥Î´á®ð«Ê¸Ë¡B¿Nµ²¡B°h¤õ¡BÁÙì¡BÀx¦s¡Cºû³qÅÜÀ£§lªþ¨î´á¾÷¨ó§U·~Ãþ¦U¤j¼t®a¦bÄvª§¤¤Ä¹±o¥ý¾÷¡A¹ê²{¤F¦³®Äªº»ùÈ´£¤É¡C
¥|¡D¹q¤l¤¸¾¹¥ó¦æ·~À³¥Î
¥Î´á®ð¿ï¾Ü©Ê²k±µ¡B§j±½©M«Ê¸Ë¡C¬ì¾Çªº´á®ð´k©Ê«OÅ@¤w¸g³QÃÒ©ú¬O¦¨¥\¥Í²£¹q¤l¤¸¾¹¥ó¤@Óªº«nÀô¸`¡C
¤¡D¤Æ¤u¡B·s§÷®Æ¦æ·~¦æ·~À³¥Î
¥Î´á®ð¦b¤Æ¤u¤uÃÀ¤¤³Ð«ØµL®ñ®ðª^¡A´£°ª¥Í²£¤uÃÀªº¦w¥þ©Ê¡A¬yÅé¿é°e°Ê¤O·½µ¥¡C¥Ûªo¡G ¥iÀ³¥Î©ó«Y²Î¤¤ºÞ¹D®e¾¹µ¥ªº´á®ð§j±½¡AÀxÅø¥R´á¡B¸m´«¡BÀ˺|¡A¥i¿U©Ê®ðÅé«OÅ@¡A¤]À³¥Î©ó®ãªo¥[²B©M¶Ê¤Æ«¾ã¡C
¤»¡D¯»¥½§Mª÷¡Aª÷ÄÝ¥[¤u¦æ·~¡A¼ö³B²z¦æ·~À³¥Î
¿û¡BÅK¡B»É¡B¾T¨î«~°h¤õ¡B¬´¤Æ¡A°ª·ÅÄl½`«OÅ@¡Aª÷Äݳ¡¥óªº§C·Å¸Ë°t©Mµ¥Â÷¤l¤Á³Îµ¥¡C
¤C.¹«~¡BÂåÃĦæ·~¦æ·~À³¥Î
¥DnÀ³¥Î©ó¹«~¥]¸Ë¡B¹«~«OÂA¡B¹«~Àx¦s¡B¹«~·FÀê©M·Àµß¡BÂåÃÄ¥]¸Ë¡BÂåÃĸm´«®ð¡BÂåÃÄ¿é°e®ðª^µ¥¡C
¤K. ¨ä¥L¨Ï¥Î»â°ì
¨î´á¾÷°£¤F¨Ï¥Î¦b¥H¤W¦æ·~¥H¥~¡A¦b·ÑÄq¡Bª`¶ì¡B×÷²k¡B½üL¥R´á¾ó¡B¾ó½¦²¸¤Æµ¥²³¦h»â°ì¤]±o¨ì¼sªx¨Ï¥Î¡CÀHµÛ¬ì§Þªº¶i¨B©MªÀ·|ªºµo®i¡A´á®ð¸Ë¸mªº¨Ï¥Î»â°ì¤]¶V¨Ó¶V¼sªx¡A²{³õ¨î®ð¡]¨î´á¾÷¡^¥H¨ä§ë¸ê¬Ù¡B¨Ï¥Î¦¨¥»§C¡B¨Ï¥Î¤è«Kµ¥ÀuÂI¤w¸g³vº¥¨ú¥N²G´á»]µo¡B²~¸Ë´á®ðµ¥¶Ç²Î¨Ñ´á¤è¦¡¡C