定制殘餘氣體分析係統 OmniGrade_伯東貿易（深圳）有限公司

定制殘餘氣體分析係統 OmniGrade

OmniGrade 定制殘餘氣體分析係統
上海伯東德國 Pfeiffer 推出 OmniGrade 定制殘餘氣體分析係統, 用於復雜殘餘氣體測量, 進行純度測試. OmniGrade 在高真空條件下使用質譜法正確測定脫氣率. 避免由於分子污染導致的影響, 達到更高水平的清潔度. OmniGrade 的上市, 擴展了德國 Pfeifffer 殘餘氣體分析的產品組合, 提供更高水平的價值創造, 從而增加客戶的利益.

OmniGrade 殘餘氣體分析應用領域
半導體生產中的 EUV 光刻
電子顯微鏡
真空 UHV 中的應用

OmniGrade 殘餘氣體分析係統基於模塊化原理, 可滿足各種測試要求
上海伯東德國 Pfeiffer 根據每個測試要求提供量身定制的分析係統, 滿足客戶所需精度的測試結果. 殘餘分析係統採用全係列的德國 Pfeiffer 產品, 比如四極桿質譜儀, 真空泵, 腔室和其他組件.

四極桿質譜儀 (PrismaPro 或 HiQuad ) 的選擇和腔室數量的確定對可實現的檢測限有顯著影響. 在標準係統中有兩個腔室, 一個放置測試樣品, 另一個放置光譜儀. 如果需要, 該結構可以補充第三個腔室. 即閘室. 這避免了測量腔室受到環境污染並顯著減少了表面積. 通過烘烤係統, 可以對其進行調節, 從而進一步提高測量能力.

OmniGrade 殘餘氣體分析係統配置

	三腔室係統	二腔室係統
參考圖片
分析目的	低放氣率小零件的分析	中型零件測試
大腔室尺寸	DN 160/250	750 x 750 x 750 mm
測量設計	With Load Lock	Without Load Lock
分子泵	全磁浮或者復合軸承	全磁浮或者復合軸承
質譜分析儀	HiQuador 或PrismaPro	HiQuador 或PrismaPro
密封閘閥	金屬	金屬或氟橡膠
校準	手動或自動
潔凈室兼容	可選
溫度控制係統	主動或被動

OmniGrade 殘餘氣體分析係統特點
使用模塊化係統根據您的需求定制執行
檢測限低
全自動測量過程
根據 ASML的清潔度等級 GSA 07 1221 和 GSA 07 2221 進行測試

OmniGrade 採用了節能組件和先進技術設計, 以減少浪費和排放. 它有助於優化檢查純度的流程, 從而減少客戶生產中的浪費並更有效地利用資源.

上海伯東累計多年真空經驗, 提供各類定制真空係統, 例如氦質譜檢漏係統, 真空計校準係統, 殘餘氣體分析係統等, 滿足半導體, 工業, 科研各個領域的需求.

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